13BF-3M9L精密雙面平面研磨機
13BF-3M9P精密雙面平面拋光機
一、主要用途
主要用于藍寶石、藍玻璃、陶瓷片、晶體、半導體及其他硬脆材料的高精度雙面研磨拋光,尤其對于**薄工件的加工具有明顯的優(yōu)勢。
二、產(chǎn)品特點
1、壓力精密控制:PLC+PT+電氣比例閥+低摩擦氣缸實現(xiàn)高精度壓力閉環(huán)控制;
2、上盤減震裝置:動靜態(tài)均適用的減振彈性連接方式;
3、精密傳動系統(tǒng):高精度小齒隙全齒輪傳動;
4、下盤支撐:高精度平面流體軸承支撐,承載力大,運行平穩(wěn),免維護
5、銷齒傳動:內(nèi)外齒采用銷齒傳動,延長載體使用壽命,維護便捷,也可采用漸開線齒傳動
6、傳動系統(tǒng):三電機同步拖動,上盤、下盤和齒圈、太陽輪(即可正轉(zhuǎn),也可反轉(zhuǎn))轉(zhuǎn)速可任意設足,縣有配方功能
三、技術(shù)參數(shù)
序號 項目 規(guī)格 參數(shù)
1下盤尺寸Φ958mm×Φ547mm×50mm(研磨)Φ960mm×Φ548mm×50mm(拋光)轉(zhuǎn)速3-45 rpm驅(qū)動電機7.5kW AC380V 50Hz 1440rpm
2上盤尺寸Φ958mm×Φ547mm×50mm(研磨)Φ960mm×Φ548mm×50mm(拋光)轉(zhuǎn)速3-30 rpm驅(qū)動電機4.0kW AC380V 50Hz 1400rpm
3游星輪參數(shù)節(jié)距:15.7 Z=46數(shù)量9個
4太陽輪轉(zhuǎn)速0-20 rpm驅(qū)動電機1.5kW AC380V 50Hz 1400rpm
5精度指標上、下盤平面度≤0.015mm下盤端跳≤0.02mm
6加工范圍較1大加工尺寸Φ180mm較1小加工厚度0.15mm(≤2'片)整盤承載量8×9=72片(2' 圓片)
7水源 純水或自來水
8電源功率14kW AC380V 50Hz線纜規(guī)格三相五線刮.3×4mm2+2×2.5mm2
9氣源壓力壓縮空氣源0.5-0.6Mpa接管口徑接口Φ10mm(外徑)
10外形尺寸 長×寬×高:1650mm×1300mm×2500mm
11重量 約3800Kg