凈化室工程溫濕度控制要求

凈化室工程的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。

　例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫。同時要求濕度值一般較低。因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間溫度不宜超過25度。

? ? 中和：

　　將帶電體(靜電)周圍的空氣離子化后，帶電的離子在電磁場作用下發(fā)生遷移，帶電體吸引異性電荷達到中和而消除靜電。靜電消除器是一種能產(chǎn)生電 子和離子的裝置，它產(chǎn)生的電子、離子與帶電體上的異性電荷中和，從而消除靜電。絕緣材料表面所帶的靜電荷、空氣中的靜電荷必須用靜電中和的辦法來消除。

怎么算千級凈化車間的換氣次數(shù)?

　換氣次數(shù)是千級凈化車間必不可少的一個參數(shù)，所謂的換氣次數(shù)，其實就是指通人室內(nèi)的潔凈空氣量相當于房間體積的倍數(shù)，其單位是 次/h。如果一小時內(nèi)通人的空氣量和房間體積一樣，凈化車間維護，換氣次數(shù)就是1次/h，以此類推，換氣次數(shù)是亂流潔凈室決定潔凈度水平的最主要參數(shù)。那么，佛山凈化車間，你知道怎么算千級凈化車間的換氣次數(shù)嗎?

潔凈室不同，凈化車間標準，換氣次數(shù)就不同，換氣次數(shù)不同，灰塵顆粒容量不一樣，過濾塵埃粒子就不同，風量、設備、造價就不同。

　　因此，千級凈化車間的換氣次數(shù)計算方法，可根據(jù)上表中千級的空氣潔凈度級別，結(jié)合室內(nèi)人數(shù)、房間面積、室內(nèi)其他發(fā)塵量和新風比通過公式求出來，特別是動態(tài)條件下更需要針對具體條件進行計算。

　　但是，在計算千級凈化車間的換氣次數(shù)時，要注意不能盲目按照換氣次數(shù)進行設計風量，還應綜合考慮房間及工藝余熱、余濕。否則，剛開始風量也許能滿足溫濕度要求，系統(tǒng)運行一段時間后就不會效果那么好了。

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