是一種無色、無臭、無毒、不燃的惰性氣體，它的分子量為146.07，在20℃和0.1 MPa時(shí)密度為6.1kg/m3，約為空氣密度的5倍。在常溫常壓下為氣態(tài)，其臨界溫度為45.6℃，三相點(diǎn)溫度為-50.8℃，常壓下升華點(diǎn)溫度為-63.8℃。分子結(jié)構(gòu)呈八面體排布，鍵合距離小、鍵合能高，介紹，因此其穩(wěn)定性很高，在溫度不超過180℃時(shí)，它與電氣結(jié)構(gòu)材料的相容性和相似。

1、直接合成法 經(jīng)凈化后的氟（含HF≤0．5%）和反應(yīng)生成及少量的S2F10、SF4、SF2和S2F2。經(jīng)水洗、堿洗除去絕大部分雜質(zhì)氣體，再經(jīng)熱解爐分解S2F10成SF6和SF4（300～350℃），滁州，然后經(jīng)堿洗進(jìn)一步除去雜質(zhì)，凈化后的SF6氣體經(jīng)硅膠及分子篩干燥器干燥后，制得產(chǎn)品。

將、二氯化LIU、、二liu化碳或等加入到中，以鎳為陽極進(jìn)行電解即可制得。或氟和直接反應(yīng)制備。還可以金屬氧化物為催化劑于300℃下用空氣氧化四氟化liu，或者在500～2000℃使氟化熱解。

直接電解法　將、二氯化liu、、二liu化碳或等加入到中，以鎳為陽極進(jìn)行電解即可制得。用與無水氟酸電解時(shí)，以鎳作極，鐵作陰極，溫度為－10～20℃，電壓為7～20V。電解產(chǎn)物應(yīng)除去雜質(zhì);催化氧化法　金屬氧化物為催化劑，物性數(shù)據(jù)，于300℃下，用空氣氧化四氟hua，該法缺點(diǎn)是收率過低。

熱解法，在500～2000℃使SF4熱解，但該法的轉(zhuǎn)換率及收率皆低，采用微波放電分解SF4亦可。氟hua鈷法　將或其他化物在三fu化鈷和二氯hua鈷存在下與過量氟作用以制備。二氧化與氟燃燒法。聯(lián)產(chǎn)法　氯氟代和聯(lián)產(chǎn)，氟化碳（COF2）與聯(lián)產(chǎn)。

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