你現(xiàn)在使用的電腦有一個(gè)中央處理器,它的晶圓片是用一個(gè)非常復(fù)雜的鏡頭曝光加工而來(lái)的。這類鏡頭可能含有20或30個(gè)以上的鏡片組成,光學(xué)公差分析,是世界上精細(xì)的鏡頭。如果你想更好的學(xué)習(xí)光學(xué)設(shè)計(jì),這將是一個(gè)好的學(xué)習(xí)例子。本課將給出一個(gè)學(xué)習(xí)例子。
鏡片數(shù)22片
物高31mm
物方數(shù)值孔徑NA 0.2
波長(zhǎng)為UV
像方晶圓尺寸是12.66mm
總長(zhǎng)小于1200mm
這種透鏡在物體和圖像上都是有限共軛的,分兩步設(shè)計(jì)。首先,光學(xué)鏡頭設(shè)計(jì),我們將為左半部分設(shè)計(jì)一個(gè)鏡片組,北京光學(xué),可以讓光束經(jīng)過(guò)遮光罩,光束到中心后被準(zhǔn)直。然后我們將為右半部分設(shè)計(jì)第二個(gè)鏡片組,將準(zhǔn)直光束成像到晶圓片上。
這節(jié)課將展示如何設(shè)計(jì)從一個(gè)激光二極管到一個(gè)圓形準(zhǔn)直光束的光學(xué)轉(zhuǎn)換器。我們從一個(gè)典型的激光二極管的規(guī)格開始,SYNOPSYS光學(xué)軟件,它在X方向和y方向上有不同的發(fā)散角,設(shè)計(jì)任務(wù)比較復(fù)雜。以下是我們的設(shè)計(jì)規(guī)格:
Y方向的光束發(fā)散度: 8.5度
X方向的光束發(fā)散度: 19 度
波長(zhǎng)為0.403 um
我們將使用OBG命令,它需要高斯腰半徑作為參數(shù)。首先我們要把發(fā)散角轉(zhuǎn)換成半徑值。
在用戶手冊(cè)的3.1.2節(jié)中,我們了解到該程序利用公式將光束半徑轉(zhuǎn)換為發(fā)散角
首先,我們將使用DSEARCH為左半部分設(shè)計(jì)出11個(gè)鏡片的鏡頭,輸入的命令如下:
? ? ?Here is the input for 1DSEARCH:
? ? ?CORE 14 TIME
? ? ?DSEARCH 2 QUIET
? ? ?SYSTEM
? ? ?ID DSEARCH LEFT UNI MM
? ? ?OBA 15 31 3 31
? ? ?OSNA .2 TCO
? ? ?WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC
? ? ?END
? ? ?GOALS ELEM 11
? ? ?TOTL 600 .1
? ? ?TOPD .01
? ? ?NPASS 50
? ? ?QUICK 20 50
? ? ?ANNEAL 50 10 Q
? ? ?SNAP 10
? ? ?RSTART 1000
? ? ?ASTART 25
? ? ?THSTART 12
? ? ?FOV 0 .5 .707 1
? ? ?FWT 1 1 1 1 END
? ? ?SPECIAL PANT
? ? ?CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55
? ? ?FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67
? ? ?CUL 1.6
? ? ?FUL 1.6 END
? ? ?SPECIAL AANT ADT 7 .01 1
? ? ?M 0 .1 A SAP
? ? ?M 0 .1 A P YA 1 0 0 0 LB1 END
? ? ?GO TIME返回一個(gè)非常好的初始結(jié)構(gòu),我們將它保存。
公司地處武漢光谷商業(yè)和科技產(chǎn)業(yè)中心,依托美國(guó)OSD公司、美國(guó)BRO公司、美國(guó)lightsoft公司、德國(guó)photonics公司、武漢華中科技大學(xué)的雄厚科研技術(shù)力量和光學(xué)產(chǎn)品開發(fā)設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn),提供優(yōu)1秀的光學(xué)設(shè)計(jì)分析軟件和完美的技術(shù)支持,讓光機(jī)電廠商在各領(lǐng)域投入的光學(xué)器件與光機(jī)系統(tǒng)的開發(fā),在最短時(shí)間內(nèi)完成量產(chǎn)并獲利。武漢墨光科技有限公司堅(jiān)持“關(guān)注客戶需求、提升客戶價(jià)值”的核心理念,始終遵循“客戶滿意為止”的服務(wù)準(zhǔn)則。創(chuàng)造客戶價(jià)值、社會(huì)價(jià)值,從而提升企業(yè)價(jià)值。武漢墨光科技將以長(zhǎng)遠(yuǎn)的眼光、世界領(lǐng)1先的技術(shù)、負(fù)責(zé)敬業(yè)的態(tài)度、共同成長(zhǎng)的理念,發(fā)展公司的事業(yè)。與公司相關(guān)利益共同體和諧發(fā)展,以受到客戶、合作伙伴、員工、股東和社會(huì)的尊敬為自身的自豪和追求。