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    ??光刻膠不僅具有純度要求高、工藝復(fù)雜等特征,還需要相應(yīng)光刻機(jī)與之配對(duì)調(diào)試。一般情況下,一個(gè)芯片在制造過程中需要進(jìn)行10~50道光刻過程,由于基板不同、分辨率要求不同、蝕刻方式不同等,不同的光刻過程對(duì)光刻膠的具體要求也不一樣,即使類似的光刻過程,不同的廠商也會(huì)有不同的要求。

    ??針對(duì)不同應(yīng)用需求,光刻膠的品種非常多,這些差異主要通過調(diào)整光刻膠的配方來實(shí)現(xiàn)。因此,通過調(diào)整光刻膠的配方,滿足差異化的應(yīng)用需求,是光刻膠制造商核心的技術(shù)。

    ??此外,由于光刻加工分辨率直接關(guān)系到芯片特征尺寸大小,而光刻膠的性能關(guān)系到光刻分辨率的大小。限制光刻分辨率的是光的干涉和衍射效應(yīng)。光刻分辨率與曝光波長(zhǎng)、數(shù)值孔徑和工藝系數(shù)相關(guān)。

    ??光刻膠的曝光波長(zhǎng)由寬譜紫外向g線→i線→KrF→ArF→EUV(13.5nm)的方向移動(dòng)。隨著曝光波長(zhǎng)的縮短,光刻膠所能達(dá)到的極限分辨率不斷提高,光刻得到的線路圖案精密度更佳,而對(duì)應(yīng)的光刻膠的價(jià)格也更高。

    ??光刻光路的設(shè)計(jì),有利于進(jìn)一步提升數(shù)值孔徑,隨著技術(shù)的發(fā)展,數(shù)值孔徑由0.35發(fā)展到大于1。相關(guān)技術(shù)的發(fā)展也對(duì)光刻膠及其配套產(chǎn)品的性能要求變得愈發(fā)嚴(yán)格。

    ??工藝系數(shù)從0.8變到0.4,其數(shù)值與光刻膠的產(chǎn)品質(zhì)量有關(guān)。結(jié)合雙掩膜和雙刻蝕等技術(shù),現(xiàn)有光刻技術(shù)使得我們能夠用193nm的激光完成10nm工藝的光刻。

    ??為了實(shí)現(xiàn)7nm、5nm制程,傳統(tǒng)光刻技術(shù)遇到瓶頸,EUV(13.5nm)光刻技術(shù)呼之欲出,臺(tái)積電、三星也在相關(guān)領(lǐng)域進(jìn)行布局。EUV光刻光路基于反射設(shè)計(jì),不同于上一代的折射,其所需光刻膠主要以無機(jī)光刻膠為主,如金屬氧化物光刻膠。


    ??所有數(shù)據(jù)都需要采集、存儲(chǔ)、計(jì)算、傳輸,存儲(chǔ)器比重有望持續(xù)提升。同時(shí)傳感器、微處理器(MCU/AP)、通信(RF、光通訊)環(huán)節(jié)也將直接受益。我們強(qiáng)調(diào),第四次波硅含量提升周期,存儲(chǔ)器芯片是推動(dòng)半導(dǎo)體集成電路芯片行業(yè)上行的主要抓手,密切關(guān)注大陸由特殊、利基型存儲(chǔ)器向先進(jìn)存儲(chǔ)有效積累、快速發(fā)展進(jìn)程。

    ??人工智能市場(chǎng)不斷成長(zhǎng),拉動(dòng)上游半導(dǎo)體需求持續(xù)提升:數(shù)據(jù)時(shí)代對(duì)服務(wù)器需求增長(zhǎng),服務(wù)器出貨量提升;服務(wù)器市場(chǎng)結(jié)構(gòu)變化:AI訓(xùn)練需求對(duì)高性能服務(wù)器出貨量的拉動(dòng);性能需求對(duì)芯片價(jià)值量的拉動(dòng):并行計(jì)算對(duì)GPU的拉動(dòng);數(shù)據(jù)量指數(shù)級(jí)增長(zhǎng)拉動(dòng)存儲(chǔ)器需求;運(yùn)算效率催生In-MemoryProcessing對(duì)存儲(chǔ)器性能要求的提升帶動(dòng)ASP的提升;摩爾定律放緩,但性能需求持續(xù)提升,多路CPU有望重演多核CPU成長(zhǎng)路徑。

    相較成本更高的光纖慣導(dǎo)、激光陀螺儀等傳感器方案,ADI的IMU具有更為出色的性價(jià)比。在一些極端惡劣天氣條件下或者沒有GPS信號(hào)的情況下,IMU就成為自動(dòng)駕駛重要的輸入。

    “ADI一直致力于開發(fā)對(duì)無人駕駛至關(guān)重要的高性能、高可靠性、安全技術(shù),ADI的傳感器向無人駕駛系統(tǒng)提供了高保真、高可靠性的導(dǎo)航和感知信號(hào)”,ADI公司自動(dòng)駕駛和安全副總裁ChrisJacobs指出,“ADIIMU的高性能結(jié)合Momenta在軟件算法領(lǐng)域的技術(shù)積累,雙方通過此次合作共同為自動(dòng)駕駛打造安全、可靠、可落地的解決方案?!?/p>

    從高精地圖的采集模式來看,眾包制圖因具有成本優(yōu)勢(shì)以及能夠完成快速更新的特點(diǎn)而成為主流發(fā)展方向,尤其對(duì)于基礎(chǔ)設(shè)施日新月異的亞洲市場(chǎng)。Momenta基于視覺的高精度語義地圖具有可眾包、精度高、更新快等特點(diǎn)。Momenta不僅擁有自己的制圖車輛,而且可以利用在出租車、卡車、巴士等多種車輛實(shí)現(xiàn)規(guī)?;谋姲渴?,打造“自動(dòng)駕駛的大腦”。



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