UV光氧廢氣處理裝置工作原理是利用高能紫外光，在有催化劑的條件下揮發(fā)性有機物分解成二氧化碳和水的裝置。有機物在催化劑TiO2及紫外光的作用下降低分解能量迅速分解。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),臭氧對有機物具有極強的氧化作用，有機物被分解成二氧化碳和水，而變成無害的氣體，在風機的抽引下經排氣筒排入大氣。
低溫等離子廢氣處理原理。低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現象就被稱為氣體放電。而這種凈化設備的技術，就是工業(yè)廢氣處理的一種原理。
低溫等離子廢氣處理設備優(yōu)點
1）介質阻擋放電產生電子能量高，低溫等離子體密度大，達到常用等離子技術(電暈放電)的1500倍，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。
2）低溫等離子廢氣凈化設備技術反應速度快，氣體通過反應區(qū)的速度達到3-15米/秒，即達到很好的處理效果。
3）氣體通過部分，全部采用陶瓷、石英、不銹鋼等防腐蝕材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了低溫等離子廢氣處理技術設備腐蝕問題。
4）等離子廢氣處理設備主機為成套工業(yè)廢氣處理裝置，前面配有專用塔，能有效去除廢氣中的粉塵和水分，操作簡單。
5）自動化程度高，設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，對于部分化工生產的不連續(xù)性，可以在生產時開啟，不生產的間隙停止運行，大量的節(jié)約能源。
6）運行成本較低，比常用的蓄熱式燃燒爐RTO節(jié)約運行費用5-8倍，每立方米氣量運行費用僅為0.3～0.9分錢。
7）應用范圍廣闊，基本不受氣溫和污染物成分的影響，對惡臭異味的臭氣濃度有良好的分解作用，惡臭異味的去除率達80-98%。
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