二、產品規(guī)格



國華RTR2000L-W500系列等離子體表面清洗系統(tǒng)標準配置表
機臺名稱	等離子體表面清洗系統(tǒng)
機臺型號	RTR2000L-W500
機臺用途	5種氣體通入，不同組合用于不同工藝制造，用于卷材的除膠、清潔等工藝
技術參數(shù)	備注
1	機臺整機規(guī)格	 8000（W)×3000(D)×1650(H) mm 	　
2	真空室特點	分為收料真空室、放料真空室、等離子處理真空室	　
3	電極板規(guī)格	進口鋁1200(W)×600(D)mm	　
4	處理寬幅	100～500mm（W)	
5	真空電極結構	收放板過程中PLASMA處理	　
6	真空泵系統(tǒng)	漢中干式泵組	　
7	PLC自動控制系統(tǒng)硬件	OMRON/SIEMENS-PLC及擴展模塊(D/A轉換、A/D轉換、溫度控制）	日本歐姆龍/西門子
8	人機工控系統(tǒng)	觸摸屏式全中文界面	　
9	變頻控制系統(tǒng)	PID閉環(huán)控制，真空度可維持	　
10	機臺冷卻系統(tǒng)	采用內部獨立中通冰水循環(huán)冷卻系統(tǒng)	　
11	溫度控制系統(tǒng)	日本歐姆龍OMRON溫度傳感模塊，PID閉環(huán)控制，溫度可控	　
12　	冰水機	5.0P雙泵	　
13	真空測定系統(tǒng)	皮拉尼電阻式真空計	日本愛發(fā)科
14	真空供氣系統(tǒng)	Ф6品牌軟管+不銹鋼鎖套管路	進口優(yōu)質不銹鋼
15	真空排氣系統(tǒng)	全不銹鋼管路+波紋管	進口優(yōu)質不銹鋼
16	破真空系統(tǒng)	倒計時自動開合啟動	　
17	氣體控制系統(tǒng)	電磁閥控制	日本CKD
18	氣體計量系統(tǒng)	5路精確質量流量控制計：MFC	SevenStar
19	等離子發(fā)生器	額定功率：0-20KW，全自動匹配	　
20	其他組件	國內外知名品牌元器件	　
21	機臺總重	約2600kg	　
22	額定功率	額定功率 30KW	　
23	機臺供電	 AC-380V-50Hz，三相五線	　
24	腔體容積	進口鋁	　
25	張力控制系統(tǒng)	張力傳感器+控制器+磁粉剎車	　
26	速度控制系統(tǒng)	速度傳感器+控制器+日本安川變頻器	
27	糾偏系統(tǒng)	意大利ST糾偏傳感器+控制器+驅動器	　
28	工作真空度	0.15～0.3Torr （可根據要求設定，可恒定真空度）	　
29	真空泵極限壓力	5pa以下	　
30	抽真空時間	抽到工作真空≤180秒	　
31	破真空時間	≤60秒	　
32	供氣方式	電磁閥式	　
33	流量計調節(jié)范圍	2路獨立MFC，N2和CF4，0-1000sccm（毫升/分鐘）,      O2,0-3000sccm（毫升/分鐘）	　
34　	溫度控制調節(jié)范圍	5匹速冷，30-80℃恒定可調	　
35	操作方式	人工取放工件，一鍵啟動自動控制	　
電源需求	AC380V，50/60Hz，三相五線  60KW
壓縮空氣要求	0.5～0.8MPa，干燥
循環(huán)冷卻水用量	約200L 純水
真空泵排風	≥3立方/分鐘，中央尾氣處理管道即可、直徑50MM
冰水機抽風	≥2立方/分鐘，中央尾氣處理管道即可、直徑400MM
系統(tǒng)環(huán)境溫度要求	≤30℃（室溫最佳）
工藝氣體要求	0.5～0.8MPa：CF4=99.999%；O2=99.99%；N2=99.99%；
H2=99.99%；Ar2=99.99%
場地需求	大于9000*5000*2500
 我們倡導技術創(chuàng)新，充分發(fā)揮新技術在企業(yè)經營中的主導作用，以滿足客戶的個性化需求為己任，為全球客戶提供與等離子處理系統(tǒng)相關技術的支持與服務，致力于成為國際領先的行業(yè)領導者！