真空泵，隔膜泵機械密封的安裝與使用要求

1、機械密封對機器精度的要求：（以真空泵的機械密封為例）

（1）安裝機械密封部位的軸（或軸套）的徑向跳動公差不超過0.04～0.06mm.

（2）轉(zhuǎn)子軸向竄動不超過0.3mm.

（3）密封腔體與密封端蓋結(jié)合的定位端面對軸（或軸套）表面的跳動公差不超過0.04～0.06mm.

2、密封件的確認(rèn)：

（1）確認(rèn)所安裝的密封是否與要求的型號一致。

（2）安裝前要仔細(xì)地與總裝圖對照，零件數(shù)量是否齊全。

（3）采用并圈彈簧傳動的機械密封，其彈簧有左、右旋之分，須按轉(zhuǎn)軸的旋向來選擇。

多片式比較片裝置的設(shè)計特點

1)固定筒圓筒形狀、大直徑、厚壁結(jié)構(gòu)的設(shè)計和周向?qū)ΨQ的固定方式，可保證其有足夠的強度和剛度，同時，還可阻止高溫濺射磨料對其內(nèi)部零部件污染，保證撥動盤轉(zhuǎn)動的靈活性。

2)圓形軸承座的設(shè)計，保證軸承座安裝的密封性和垂直度；增大軸的直徑尺寸，加大軸承座中兩軸承的安裝間距，提高其自身的強度和剛度，保證轉(zhuǎn)動過程中軸1的剛度和撥動盤的旋轉(zhuǎn)靈活性、位置重復(fù)的一致性。

3)裝載換位機構(gòu)，通過擴(kuò)大支承盤的直徑，使該機構(gòu)在平面方向的有效面積增大，可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片，有利于光路調(diào)整，提高光學(xué)薄膜質(zhì)量；比較片由單片玻璃作為一個比較片單元，比較片采用空間立體疊加安裝方式，多片玻璃疊加安裝在一個比較片存儲筒內(nèi)，實現(xiàn)一次可放置50~100片比較片，解決鍍膜機鍍制多層精密光學(xué)薄膜，比較片數(shù)量少影響鍍膜層數(shù)和精度的問題。

4)定位盤與槽型光藕的配合，通過槽型光藕來感知定位盤上三個均分的120°狹縫，控制電機轉(zhuǎn)動停止。軸1旋轉(zhuǎn)定位重復(fù)的一致性得到保證，帶動撥動盤完成準(zhǔn)確的撥片動作。

5)轉(zhuǎn)動密封饋入機構(gòu)引入威爾遜密封機構(gòu)，既保證電機通過齒輪嚙合帶動軸的靈活轉(zhuǎn)動，又保證真空室對外部的密封作用。優(yōu)化設(shè)計的真空鍍膜機多片式比較片裝置，其特點：(1)結(jié)構(gòu)簡單，強度高，可靠性好；(2)比較片裝載數(shù)量大，生產(chǎn)效率提高，可鍍制超多層精密光學(xué)薄膜；(3)比較片直徑增大，提高薄膜監(jiān)控的精度，降低對硬件系統(tǒng)的要求，系統(tǒng)容易實現(xiàn)自動控制；

真空鍍膜機設(shè)計安全

安全保護(hù)系統(tǒng)對任何儀器設(shè)備都是很重要的。為保證整機設(shè)備和人身安全，對于用戶來說，我們設(shè)計分配了2級的安全級別，即管理者和操作者。管理者可以修改工藝和參數(shù)，而操作者只能執(zhí)行程序，查閱程序參數(shù)。

不論是工作在自動工作方式，還是手動維護(hù)方式，輸出量的互鎖保護(hù)都是非常重要的。為防止誤操作，我們設(shè)計了互鎖電路和程序互鎖的2級互鎖。條件不充分按錯鍵時，系統(tǒng)給予提示不執(zhí)行錯誤命令。系統(tǒng)中還增添了某些重要參數(shù)的安全區(qū)域報警或警告。通過紅黃綠三色警示燈和訊響器的控制動作，分別實現(xiàn)各種情況的警示。如工藝過程中工藝氣體充氣流量稍低于設(shè)定流量時，給予黃燈訊響警告仍然繼續(xù)工作，壓力恢復(fù)后流量轉(zhuǎn)為正常，綠色指示燈亮。但當(dāng)流量低于設(shè)定的下限時，紅燈點亮報警，停止工藝進(jìn)程

鍍膜機通過用戶的使用和生產(chǎn)，證明整個程序化自動控制系統(tǒng)滿足了用戶的使用要求。

控制系統(tǒng)界面清晰友善、編程簡單、操作方便、數(shù)據(jù)查閱迅速、系統(tǒng)穩(wěn)定可靠、工藝重復(fù)性好，光學(xué)減反射膜層的透射率等性能指標(biāo)完全符合航天高性能GaAs太陽電池的要求，并為今后提高GaAs太陽電池的減反射膜層性能提供了良好的平臺。

盡管如此，電子束蒸發(fā)鍍膜機的發(fā)展在國內(nèi)已有幾十年，技術(shù)雖不斷提高，但比較國外先進(jìn)技術(shù)還有一定差距。本文對電子束蒸發(fā)鍍膜機所應(yīng)用的控制技術(shù)國際上雖然不是很新的技術(shù)，但此方面控制系統(tǒng)的應(yīng)用，在國內(nèi)生產(chǎn)的真空應(yīng)用設(shè)備上還很少，且要能長期工作穩(wěn)定可靠，還有很大的發(fā)展空間，這是和國內(nèi)真空行業(yè)在真空應(yīng)用設(shè)備上的整體發(fā)展水平相關(guān)的。

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