真空熱蒸發(fā)鍍膜工藝

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層**薄膜和金屬電極，薄膜的質量關系到器件質量和壽命。在**真空腔室中設有多個放置**材料的蒸發(fā)舟，EDWARDS RV12 真空泵價格，加熱蒸發(fā)舟蒸鍍** 材料；在金屬真空腔室中設有多個放置金屬電極的蒸發(fā)舟，金屬蒸發(fā)舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作，電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函數(shù)的活潑金屬。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉樣品托架上，其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案，并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。

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亞克力手套箱產品特點

一、**玻璃/亞克力手套箱的亞克力板材具有可與玻璃比擬的透光率，且有水晶般的透明度，透光率在92%以上，光線柔和、視覺清晰.，但密度只有玻璃的一半。此外，它不像玻璃那么易碎，即使破壞，也不會像玻璃那樣形成鋒利的碎片，亞克力板的耐磨性與鋁材接近，穩(wěn)定性好，耐部分化學品腐蝕，屬于不自燃材料，但屬于易1燃品，不具備自熄性，有較佳的耐候性、較高的表面硬度和表面光澤度.

二、**玻璃/亞克力手套箱密閉性能良好，并能防紫外線及屏蔽和吸收放1射性物質所放1射出來的α射線和低能量β射線，以防護人體組織披電離輻射所損傷.

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手套箱操作步驟

抽真空與充氣的放法：

1、本產品分為主箱體和過渡室兩部分。主箱體不能單獨抽真空，過渡室則可以單獨抽真空。

2、先打開過渡室里面的門，然后關上所有手套接口壓蓋、閥門和過渡室外的門。

3、打開手套口之間的三通閥（逆時針旋轉），將手套接口壓蓋與手套之間的空間接通箱體，使得抽氣時手套內外（箱體和接口）同時抽真空，保持兩邊氣壓平衡。

4、將真空泵接到過渡室一個閥門上，開啟真空泵，緩緩打開此閥門，對系統(tǒng)抽氣（如打開閥門的速度太快，可能引起手套膨脹）。

5、待真空表指針下降并穩(wěn)定在—0.1MPa時，抽真空完成，此時應先關閥門再關真空泵。

6、然后通過另一閥門向箱體內充入惰性氣體，直至氣壓比大氣壓（氣壓表指數(shù)為0MPa）略高一點，使箱體內、外的壓力基本平衡，且內部略**外部，可保證大氣不會滲入箱體內部（如果您想使箱體內的氣體較純凈，將以上抽氣和充氣過程重復幾次）。關掉連接手套接口的三通閥，打開手套接口上的壓蓋，就可以進行操作了。

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