連接方式:

1)焊接。高純、高潔凈氣體管道，原則上采用焊接，但不能直接對(duì)焊，應(yīng)采用套管接頭。

a不銹鋼管的焊接:采用argon arc welding，同時(shí)管內(nèi)通入同等純度的Ar，防止焊接部位氧化。

b鋼管的焊接:采用40%銀焊條，氮?dú)獗Ｗo(hù)焊，管內(nèi)通入工藝氣體同等純度的氮?dú)狻５⒁?，一旦氮?dú)庵袛嗷虻獨(dú)饧兌认陆?，?huì)在焊口附近生成銅的氧化物，氣體管道安裝怎么樣，產(chǎn)生浸潤(rùn)表面的可能性。所以，當(dāng)銅管焊接完畢后，要用浸漬丙i酮的紗布來(lái)回擦拭管內(nèi)，消除焊接處可能產(chǎn)生的氧化物。

2)螺紋連接。螺紋連接的氣密性不如焊接的好，不適用于高純、高潔凈氣體管路連接。螺紋連接使用的密封填料殘?jiān)袔霘怏w的危險(xiǎn)，而且內(nèi)外螺紋旋緊時(shí)，金屬間的摩擦?xí)a(chǎn)生金屬粉塵粒子，污染氣體。如確實(shí)必要，應(yīng)在銅與銅、銅與銅合金附件螺紋連接時(shí)，在外螺紋上均勻地掛上一定量的焊條，提高密封效果，盡可能減少金屬粉塵。

3)法蘭連接。螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)采用聚四氯i乙烯，為確保密封效果，在墊片上涂敷少量氟橡膠(白色、室溫固化)。

(3)管路附件的使用:

1)管路附件的材質(zhì)的選用原則應(yīng)與管材的選用原則一致。

2)在采用銅材的管路系統(tǒng)中，江蘇氣體管道安裝，可以使用不銹鋼材質(zhì)的管道附件;但在不銹鋼材質(zhì)的管路系統(tǒng)中，不容使用銅制材料的管道附件。

氣體管道安裝流程

　　1、施工前準(zhǔn)備：真空管道安裝前做好施工材料的清點(diǎn)領(lǐng)用準(zhǔn)備。

　　2、材料防腐：防腐施工是真空管道安裝項(xiàng)目的重要環(huán)節(jié)。在安裝工程中常用的的防腐材料主要有各種有機(jī)和無(wú)機(jī)涂料、玻璃鋼、橡膠制品、無(wú)機(jī)板材等。

　　3、管道配管：冷熱管盡量分開(kāi)布置，分不開(kāi)時(shí)，熱管在上，冷管在下；真空管線應(yīng)盡量短，減小阻力，達(dá)到更大真空度。

　　4、支架第i一階段安裝

　　5、管道安裝及支吊架第二階段安裝

　　6、管道對(duì)口、焊接：對(duì)口的關(guān)鍵是破口要合適。焊接時(shí)，要注意選擇與管道材質(zhì)相匹配的焊條，用評(píng)定好的焊接工藝進(jìn)行焊接。

　　7、閥門及特殊部件的安裝

　　8、支架和管道安裝符合性檢查

　　9、嚴(yán)密性試驗(yàn)及水壓

　　10、系統(tǒng)的沖洗和吹掃

　　11、支吊架調(diào)整

　　12、安裝結(jié)束及記錄文件整理

高純氣體管道配管

所有高純度、高潔凈的氣體均需通過(guò)管路輸送到設(shè)備用點(diǎn)(POU)，為了達(dá)到工藝對(duì)氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標(biāo)一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外，氣體管道安裝哪家好，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則，并在圖紙中注明管道材質(zhì)。

管路的材質(zhì)則依使用的需求進(jìn)行選擇，若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級(jí)的316L EP管，經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，氣體管道安裝廠家，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠(yuǎn)低于經(jīng)過(guò)光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體，如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。

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