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    處置與儲(chǔ)存--凱美電子材料有限公司(查看)

  • 作者:江蘇凱美電子材料有限公司 2019-12-02 10:40 490
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    介紹

    是一種無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)毒、不燃的惰性氣體,它的分子量為146.07,在20℃和0.1 MPa時(shí)密度為6.1kg/m3,約為空氣密度的5倍。在常溫常壓下為氣態(tài),其臨界溫度為45.6℃,處置與儲(chǔ)存,三相點(diǎn)溫度為-50.8℃,常壓下升華點(diǎn)溫度為-63.8℃。分子結(jié)構(gòu)呈八面體排布,,鍵合距離小、鍵合能高,因此其穩(wěn)定性很高,在溫度不超過(guò)180℃時(shí),它與電氣結(jié)構(gòu)材料的相容性和相似。



    在常溫常壓下為氣態(tài),其臨界溫度為45.6℃,三相點(diǎn)溫度為-50.8℃,常壓下升華點(diǎn)溫度為-63.8℃。分子結(jié)構(gòu)呈八面體排布,鍵合距離小、鍵合能高,因此其穩(wěn)定性很高,在溫度不超過(guò)180℃時(shí),它與電氣結(jié)構(gòu)材料的相容性和相似。

    制備:

    使SO2在過(guò)量的F2中燃燒可生成SF6。反應(yīng)溫度約650℃,產(chǎn)物在冷阱中凝聚,其中除SF6外主要雜質(zhì)是SO2F2。純化時(shí)將其通過(guò)裝有水和熱的10%KOH溶液的洗滌瓶,最后用P4O10干燥。


    ?的使用可以增加設(shè)備運(yùn)行的安全性、縮小設(shè)備體積、延長(zhǎng)設(shè)備壽命。近幾年,價(jià)格,國(guó)家大力發(fā)展基礎(chǔ)電力行業(yè),給廠家?guī)?lái)了很大的市場(chǎng)機(jī)遇。


    高純(純度在99.99%以上),廠家,國(guó)內(nèi)需求非常旺盛,而且附加值較高。

    ?高純主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中作清洗氣體。

    ?的成本只有NF3的幾分之一,近年來(lái),各公司以廉價(jià)的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術(shù)正被廣泛研究。

    ?該技術(shù)在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當(dāng)比例的CVD氣體成本的同時(shí),還顯示出了極i佳的環(huán)保前景,近年來(lái)用量有明顯的提高。

    ?據(jù)權(quán)i威機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè),2010年我國(guó)將成為僅次于美國(guó)的世界第二大集成電路市場(chǎng),總需求量約為500億美元。目前國(guó)內(nèi)使用高純作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預(yù)計(jì)。2016年將達(dá)到700噸左右,

    ?國(guó)內(nèi)使用作為蝕刻氣的生產(chǎn)線有近50條,在未來(lái)的五年預(yù)計(jì)將有20條至30條新線建成。每年約消耗高純?yōu)?00噸左右。而國(guó)內(nèi)高純產(chǎn)品遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足市場(chǎng)需求,半導(dǎo)體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進(jìn)口,這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機(jī)遇。





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