是一種無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)毒、不燃的惰性氣體,它的分子量為146.07,在20℃和0.1 MPa時(shí)密度為6.1kg/m3,約為空氣密度的5倍。在常溫常壓下為氣態(tài),其臨界溫度為45.6℃,處置與儲(chǔ)存,三相點(diǎn)溫度為-50.8℃,常壓下升華點(diǎn)溫度為-63.8℃。分子結(jié)構(gòu)呈八面體排布,,鍵合距離小、鍵合能高,因此其穩(wěn)定性很高,在溫度不超過(guò)180℃時(shí),它與電氣結(jié)構(gòu)材料的相容性和相似。
在常溫常壓下為氣態(tài),其臨界溫度為45.6℃,三相點(diǎn)溫度為-50.8℃,常壓下升華點(diǎn)溫度為-63.8℃。分子結(jié)構(gòu)呈八面體排布,鍵合距離小、鍵合能高,因此其穩(wěn)定性很高,在溫度不超過(guò)180℃時(shí),它與電氣結(jié)構(gòu)材料的相容性和相似。
制備:
使SO2在過(guò)量的F2中燃燒可生成SF6。反應(yīng)溫度約650℃,產(chǎn)物在冷阱中凝聚,其中除SF6外主要雜質(zhì)是SO2F2。純化時(shí)將其通過(guò)裝有水和熱的10%KOH溶液的洗滌瓶,最后用P4O10干燥。
?的使用可以增加設(shè)備運(yùn)行的安全性、縮小設(shè)備體積、延長(zhǎng)設(shè)備壽命。近幾年,價(jià)格,國(guó)家大力發(fā)展基礎(chǔ)電力行業(yè),給廠家?guī)?lái)了很大的市場(chǎng)機(jī)遇。
高純(純度在99.99%以上),廠家,國(guó)內(nèi)需求非常旺盛,而且附加值較高。
?高純主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中作清洗氣體。
?的成本只有NF3的幾分之一,近年來(lái),各公司以廉價(jià)的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術(shù)正被廣泛研究。
?該技術(shù)在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當(dāng)比例的CVD氣體成本的同時(shí),還顯示出了極i佳的環(huán)保前景,近年來(lái)用量有明顯的提高。
?據(jù)權(quán)i威機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè),2010年我國(guó)將成為僅次于美國(guó)的世界第二大集成電路市場(chǎng),總需求量約為500億美元。目前國(guó)內(nèi)使用高純作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預(yù)計(jì)。2016年將達(dá)到700噸左右,
?國(guó)內(nèi)使用作為蝕刻氣的生產(chǎn)線有近50條,在未來(lái)的五年預(yù)計(jì)將有20條至30條新線建成。每年約消耗高純?yōu)?00噸左右。而國(guó)內(nèi)高純產(chǎn)品遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足市場(chǎng)需求,半導(dǎo)體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進(jìn)口,這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機(jī)遇。
江蘇凱美電子材料有限公司是由一群專業(yè)人士組建,擁有多年的氣體行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的專業(yè)化公司。我們?yōu)閲?guó)內(nèi)外客戶提供鋼瓶普氣、電子氣等各類氣體,及其相關(guān)氣柜、面板、閥門及配件等設(shè)備、部件及工程服務(wù);產(chǎn)品涉及各個(gè)工業(yè)領(lǐng)域,如半導(dǎo)體芯片,太陽(yáng)能電池,發(fā)光二極管,液晶顯示器,光學(xué)纖維,玻璃,激光等;我們的使命是通過(guò)和全球客戶合作,為其提供創(chuàng)新,可靠,安全的技術(shù)支持,問(wèn)題解決方案和高品質(zhì)產(chǎn)品;我們期待成為客戶所信賴的合作伙伴。 Jiangsu kaimei Electronic Material co., Ltd is staffed by trained personnel, combine many years experience in Gas industry . We supply cylinder gas, electronic gas, etc ., and the gas holder, panel, valves and fittings and other equipment, parts and engineering services to our customers in China and worldwide; The products are involved in various industrial fields, such as semiconductor chip, solar cell, LED, TFT-LCD, optical fiber, glass, laser, medicine , etc., Our mission is to partner with our global customers to provide support, solutions and quality products that are innovative,reliable, and safe. Contact us today to discuss your needs and to find out how we can help you.