氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理

　　氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20 Pa 時，入口閥2 關(guān)閉，入口閥3 打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時間縮短，此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。

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氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率高，氦檢漏儀報價，簡便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進(jìn)人磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。

今天和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的操作方法，希望對大家有所幫助！

氦質(zhì)譜檢漏儀

北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司是國內(nèi)新興的一家專業(yè)從事真空領(lǐng)域的高新技術(shù)企業(yè)。

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北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司（簡稱：科儀創(chuàng)新）出資成立，創(chuàng)建于2015年，注冊資金500萬。是國內(nèi)新興的一家專業(yè)從事真空領(lǐng)域的高新技術(shù)企業(yè)。公司始終堅持以人為本，追求卓越，造就了團(tuán)結(jié)，合作，創(chuàng)新的學(xué)習(xí)型團(tuán)隊，構(gòu)建了高起點、高標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)平臺，成為集真空設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)為一體的現(xiàn)代化科技型企業(yè)?？苾x創(chuàng)新產(chǎn)品主要有：薄膜制備設(shè)備，真空冶金設(shè)備，檢漏設(shè)備，真空系統(tǒng)等非標(biāo)真空產(chǎn)品；系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設(shè)備；系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無油真空獲得設(shè)備；超高真空環(huán)境模擬設(shè)備等高新技術(shù)產(chǎn)品?？苾x創(chuàng)新-以創(chuàng)新為理念。使產(chǎn)品與技術(shù)達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平，形成了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的較完整的真空產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈。產(chǎn)品和技術(shù)廣泛應(yīng)用于新能源、新材料、電子、電力、航空航天、半導(dǎo)體、超導(dǎo)、離子、IC裝備、科研、節(jié)能環(huán)保等領(lǐng)域。科儀創(chuàng)新-以技術(shù)為保障。公司匯聚了國內(nèi)真空行業(yè)的資深專家、專業(yè)技術(shù)人員和專業(yè)的管理團(tuán)隊，他們熟悉真空、機械、高溫、低溫、鍍膜、材料、檢漏和自動化控制等專業(yè)，也深知現(xiàn)代高新技術(shù)企業(yè)的內(nèi)涵，為客戶提供完善的技術(shù)保障?？苾x創(chuàng)新-以誠信為基石。秉承質(zhì)量、顧客至上的經(jīng)營理念，竭誠為您提供高品質(zhì)、高質(zhì)量以及合理解決方案和完善的服務(wù)。品質(zhì)源于專注，服務(wù)提升價值。您的選擇是我們殷切的期望，您的滿意是我們永恒的追求！展望未來，科儀創(chuàng)新始終將秉承創(chuàng)新、技術(shù)、誠信的經(jīng)營理念，服務(wù)于科學(xué)研究和真空技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域，為國家工業(yè)技術(shù)基礎(chǔ)和制造業(yè)工藝水平的提升貢獻(xiàn)力量!