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    實(shí)驗(yàn)室專(zhuān)用鍍膜設(shè)備-至成真空科技-珠海鍍膜設(shè)備

  • 作者:東莞市至成真空科技有限公司 2019-12-07 17:03 590
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    真空鍍膜機(jī)鍍前預(yù)處理和鍍后處理方法


    一、鍍前預(yù)處理

    鍍前預(yù)處理的目的是為了得到干凈新鮮的金屬表面,為最后獲得高質(zhì)量鍍層作準(zhǔn)備,要進(jìn)行脫脂、去銹蝕、去灰塵等工作。

    步驟如下:

    一:使表面粗糙度達(dá)到一定要求,可通過(guò)表面磨光、拋光等工藝方法來(lái)實(shí)現(xiàn);

    二:去油脫脂,可采用溶劑溶解以及化學(xué)、電化學(xué)等方法來(lái)實(shí)現(xiàn);

    三:除銹,可用機(jī)械、酸洗以及電化學(xué)方法除銹;

    四:活化處理,一般在弱酸中侵蝕一定時(shí)間進(jìn)行鍍前活化處理。


    二、鍍后處理

    1、鈍化處理

    所謂鈍化處理是指在一定的溶液中進(jìn)行化學(xué)處理,在鍍層上形成一層堅(jiān)實(shí)致密的、穩(wěn)定性高的薄膜的表面處理方法.鈍化使鍍層耐蝕性大大提高并能增加表面光澤和抗污染能力。這種方法用途很廣,鍍Zn、Cu及Ag等后,都可進(jìn)行鈍化處理。

    2、除氫處理

    有些金屬如鋅,在電沉積過(guò)程中,除自身沉積出來(lái)外,還會(huì)析出一部分氫,這部分氫滲入鍍層中,使鍍件產(chǎn)生脆性,甚至斷裂,稱(chēng)為氫脆。為了消除氫脆,往往在電鍍后,使鍍件在一定的溫度下熱處理數(shù)小時(shí),稱(chēng)為除氫處理。



    真空鍍膜過(guò)程的均勻性到底多重要?


    真空鍍膜過(guò)程非常復(fù)雜,由于鍍膜原理的不同分為很多種類(lèi),僅僅因?yàn)槎夹枰哒婵斩榷鴵碛薪y(tǒng)一名稱(chēng)。所以對(duì)于不同原理的真空鍍膜,影響均勻性的因素也不盡相同。并且均勻性這個(gè)概念本身也會(huì)隨著鍍膜尺度和薄膜成分而有著不同的意義。

    薄膜均勻性的概念:

    1、厚度上的均勻性,也可以理解為粗糙度,在光學(xué)薄膜的尺度上看(也就是1/10波長(zhǎng)作為單位,約為100A),真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當(dāng)好,可以輕松將粗糙度控制在可見(jiàn)光波長(zhǎng)的1/10范圍內(nèi),也就是說(shuō)對(duì)于薄膜的光學(xué)特性來(lái)說(shuō),真空鍍膜沒(méi)有任何障礙。

    但是如果是指原子層尺度上的均勻度,也就是說(shuō)要實(shí)現(xiàn)10A甚至1A的表面平整,是現(xiàn)在真空鍍膜中主要的技術(shù)含量與技術(shù)瓶頸所在,具體控制因素下面會(huì)根據(jù)不同鍍膜給出詳細(xì)解釋。


    2、化學(xué)組分上的均勻性:

    就是說(shuō)在薄膜中,化合物的原子組分會(huì)由于尺度過(guò)小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果鍍膜過(guò)程不科學(xué),那么實(shí)際表面的組分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分,這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。

    3、晶格有序度的均勻性:

    這決定了薄膜是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術(shù)中的熱點(diǎn)問(wèn)題,具體見(jiàn)下。

    主要分類(lèi)有兩個(gè)大種類(lèi):一、對(duì)于蒸發(fā)鍍膜:一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來(lái),并且沉降在基片表面,通過(guò)成膜過(guò)程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長(zhǎng))形成薄膜。


    厚度均勻性主要取決于:1、基片材料與靶材的晶格匹配程度;2、基片表面溫度;3、蒸發(fā)功率,速率;4、真空度;5、鍍膜時(shí)間,厚度大小。

    組分均勻性:蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調(diào)控的因素同上,但是由于原理所限,對(duì)于非單一組分鍍膜,蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。

    晶向均勻性:1、晶格匹配度;2、基片溫度;3、蒸發(fā)速率.



    維修真空鍍膜機(jī)一定要按照步驟操作


    日常生活中,我們使用真空鍍膜設(shè)備都會(huì)維護(hù),但是很多人維護(hù)的方法都很不對(duì),也不按照步驟來(lái)拆卸和安裝真空鍍膜機(jī),今天我們就來(lái)介紹下真空鍍膜機(jī)的維護(hù)步驟吧:

    首先我們要保證鍍膜機(jī)與地面充分接觸,擴(kuò)散泵和油增壓泵加熱前必須接通冷卻水并開(kāi)維持泵。擴(kuò)散泵和增壓泵停止工作,維持泵半小時(shí)后才能關(guān),1小時(shí)后斷水,但泵內(nèi)未冷卻至80℃以下時(shí),不得切斷冷卻水,以防止泵芯燒毀。

    擴(kuò)散泵和增壓泵各留有備用水出口,若鍍膜機(jī)故障或停電必須開(kāi)備用出口讓其冷卻擴(kuò)散泵和增壓泵,鍍膜工作前必須接通全部設(shè)備冷卻進(jìn)水,以防止電極和基體材料燒毀。擴(kuò)散泵和油增壓泵在加熱情況下,切勿與大氣接觸,以免泵油氧化,定期檢查和調(diào)整水流繼電器,檢查斷水報(bào)警是否正常,保證設(shè)備冷卻水供水暢通,在拆裝鍍膜機(jī)各機(jī)件時(shí),應(yīng)注意保護(hù)各密封工作面不受機(jī)械劃傷或損傷,以保證鍍膜設(shè)備密封性能可靠。

    設(shè)備各傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸真空密封處均采用“骨架式油封”密封形式,骨架式油封內(nèi)間均充以飽和油蒸汽壓很低的真空油脂和擴(kuò)散泵油。使用一段時(shí)間即會(huì)損耗,必須以相同的真空油脂和擴(kuò)散泵油充入,決不能用其他油品代替。



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