光刻膠趨勢

半導體光刻膠領域全球市場規(guī)模趨于穩(wěn)定， 2017年全球市場約13.5億美元；國內市場約20.2億元，近5年復合增速達12%。受全球半導體市場復蘇和國內承接產(chǎn)業(yè)轉移，預計全球光刻膠市場將保持穩(wěn)定增速，國內市占率穩(wěn)步抬升。

光刻膠生產(chǎn)、檢測、評價的設備價格昂貴，需要一定前期資本投入；光刻膠企業(yè)通常運營成本較高，下游廠商認證采購時間較長，為在設備、研發(fā)和技術服務上取得競爭優(yōu)勢，需要足夠的中后期資金支持。企業(yè)持續(xù)發(fā)展也需投入較大的資金，光刻膠行業(yè)在資金上存在較高的壁壘，國外光刻膠廠商相對于國內廠商，其公司規(guī)模更大，具有資金和技術優(yōu)勢。

總體上，光刻膠行業(yè)得到國家層面上的政策支持。《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》，光刻膠NR9G-8000PY1，提出“研發(fā)光刻機、刻蝕機、離子注入機等關鍵設備，開發(fā)光刻膠、大尺英寸硅片等關鍵材料”；國家重點支持的高新技術領域（2015）中提到“高分辨率光刻膠及配套化學品作為精細化學品重要組成部分，是重點發(fā)展的新材料技術”；光刻技術（包括光刻膠）是《中國制造 2025》重點領域。

問題回饋：

1．我們是LED制造商，麻煩推薦幾款可以用于離子蝕刻和Lift-off工藝的光刻膠。

A 據(jù)我所知，F(xiàn)uturrex

有幾款膠很，NR7-1500P

NR7-3000P是專門為離子蝕刻

設計的，NR9-3000PY可以用于Lift-off上的應用。

2．請問有沒有可以替代goodpr1518，Micropure去膠液和goodpr顯影液的產(chǎn)品？

A 美國光刻膠，光刻膠NR9-6000P，F(xiàn)uturrex

正膠PR1-2000A

， 去膠液RR4，和顯影液RD6可以解決以上問題。

3．你們是否有可以替代Shipley

S1805的用于DVD的應用產(chǎn)品？

A 我們建議使用Futurrex

PR1-500A ， 它有幾個優(yōu)點：比較好的解析度，比較好的線寬控制，光刻膠NR21-20000P，

反射比較少，不需要HMDS，RIE后去除容易等~

4． 求助，耐高溫的光阻是那一種？

A Futurrex， NR7 serious(負光阻)Orpr1 serious(正光阻)，再經(jīng)過HMCTS

silyiation process，可以達到耐高溫200度，PSPI透明polyimide，可耐高溫250度以上。

5．厚膜光阻在鍍金應用上，用哪一種比較理想？

A Futurrex ， NR4-8000P比干膜，和其他市面上的濕膜更加適合，和理想。

6．請教LIFT-OFF制程哪一種光阻最適合？

A 可以考慮使用Futurrex

，正型光阻PR1，負型光阻用NR1&NR7，它們都可以耐高溫180度，完全可以取代一般制作PATTERN的光阻。

7．請問，那位專家知道，RIE

Mask，用什么光阻比較好？

A 正型光阻用PR1系列，負型光阻使用NR5，兩種都可以耐高溫180度。

8．一般厚膜制程中，哪一種光阻最適合？

A NR9-8000P有很高的深寬比（超過4：1），一般厚膜以及，MEMS產(chǎn)品的高需求。

9．在DEEP

RIE和MASK 可以使用NRP9-8000P嗎？

A 建議不使用，因為使用NR5-8000更加理想和適合。

10．我們是OLED，我們有一種制程上需要一層SPACER，那種光阻最適合？

A 有一種膠很適合，美國Futurrex

生產(chǎn)的NR1-3000PY

and和

NR1-6000PY，都適合在OLED制程中做spacers

光刻工藝主要性一

光刻膠不僅具有純度要求高、工藝復雜等特征，還需要相應光刻機與之配對調試。一般情況下，一個芯片在制造過程中需要進行10~50道光刻過程，由于基板不同、分辨率要求不同、蝕刻方式不同等，不同的光刻過程對光刻膠的具體要求也不一樣，即使類似的光刻過程，不同的廠商也會有不同的要求。

針對不同應用需求，光刻膠的品種非常多，這些差異主要通過調整光刻膠的配方來實現(xiàn)。因此，光刻膠，通過調整光刻膠的配方，滿足差異化的應用需求，是光刻膠制造商最核心的技術。

此外，由于光刻加工分辨率直接關系到芯片特征尺寸大小，而光刻膠的性能關系到光刻分辨率的大小。限制光刻分辨率的是光的干涉和衍射效應。光刻分辨率與曝光波長、數(shù)值孔徑和工藝系數(shù)相關。

北京賽米萊德貿易有限公司位于北京市北京經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)，毗鄰中芯國際，京東方，RFMD------等知名半導體、LCD工廠。在半導體，LED，TFT-LCD，太陽能光伏領域具有十年以上的進口設備代理和安裝維修經(jīng)驗。是一家致力于LED,MEMS,光電半導體，太陽能光伏工廠及實驗室所需設備、耗材的全套解決方案提供商，專業(yè)經(jīng)銷歐美日韓有名品牌光電半導體制程儀器設備，零附件，耗材，對中國國內廣大客戶提供全面的產(chǎn)品咨詢和技術銷售服務。一直專注于微電子、微細加工及半導體工藝等領域設備的研發(fā),是此領域集技術開發(fā)、技術支持及服務營銷為一體的高新技術企業(yè).公司主要產(chǎn)品有Futurrex光刻膠、勻膠機(SpinCoater)、光刻機(曝光機-LithographySystem)、KOSAKA表面輪廓儀等，其廣泛應用于微電子、光電子、通訊、微機械、新能源等領域，適用于大專院校、科研機構和相關行業(yè)生產(chǎn)企業(yè)進行教學實驗、科學研究和產(chǎn)品開發(fā)與批量生產(chǎn)，為光電半導體化工實驗室全方面解決方案供應商。