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測試薄膜厚度半導體
作者:蘇州實譜儀器有限公司
2023-04-26 10:33
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多導毛細聚焦光譜儀主要利用X射線全反射原理,從X射線管激發(fā)出來的X射線束在毛細玻璃管的內(nèi)壁以全反射的方式進行傳輸,利用毛細玻璃管的彎曲來改變X射線的傳輸方向,從而實現(xiàn)X射線匯聚,同時將X射線的強度增加2~3個數(shù)量級。
測量精度更高:新開發(fā)的特的光學器件和多導毛細管技術可對超微小區(qū)域及納米級薄層高精度測量
超微小樣品檢測:測試小測量點直徑可達10µm
測量效率高:高靈敏度、高解析度X熒光檢測系統(tǒng)搭配多導毛細管技術,測量時間更短,能夠?qū)崿F(xiàn)普通機型幾倍的檢測量
作為集成電路i的芯片載體的引線框架,它起到了和外部導線連接的橋梁作用,絕大部分的半導體集成塊中都需要使用引線框架,是電子信息產(chǎn)業(yè)中重要的基礎材料。封裝基板是Substrate(簡稱SUB)?;蹇蔀樾酒峁╇娺B接、保護、支撐、散熱、組裝等,以實現(xiàn)多引腳化,縮小封裝產(chǎn)品體積、改善電性能及散熱性、密度或多芯片模塊化的目的。作為芯片封裝的載體和基板,為了保證芯片和引線框架和基板的良好連接,會在引線框架以及基板上進行鍍銀或者化學鎳鈀金(ENEPIG)的電鍍處理。ENEPIG工藝,是指在基材表面先鍍化學鎳然后在鍍鈀和金,Au 和 Pd 的涂層厚度僅為幾納米。為了確保產(chǎn)品品質(zhì),必須要對低至納米的鍍層厚度進行測量。
性能優(yōu)勢:
微區(qū)分析:定位平臺和毛細管聚焦光學結(jié)構(gòu),聚焦直徑可小至 5μm FWHM.
測試速度:強度高于金屬準直1000倍以上的毛細管光路系統(tǒng)搭配核心算法,分析效率翻倍,將大幅度縮減分析時間。
自動智能:儀器響應式自動開合,AI影像智能尋點一次編程即可實現(xiàn)成百上千個樣品點的檢測,實現(xiàn)在線檢測。
多鍍層厚度同時測量
單鍍層應用 [如:Cu/ABS 等]
雙鍍層應用 [如:Ag/Pd/Zn, Au/Ni/Cu 等]
三鍍層應用 [如:Au/Ni-P/Cu/Brass 等]
四鍍層應用 [如:Cr/Ni/Cu/Zn/SnPb 等]
合金鍍層應 [如:Sn-Pb/Cu
毛細管鍍層分析產(chǎn)品特點:
1、多導毛細光學系統(tǒng)和高性能SDD探測器:區(qū)別金屬準直,多導毛細管可將光束縮小至10 μm,同時得到數(shù)千倍的強度增益??蓽y量超微小樣品的同時大程度保證了測試的準確性及穩(wěn)定性。
2、微米級超小區(qū)域:在Elite-X光學系統(tǒng)設計下大大降低檢出限,納米級超薄鍍層均可準確、可靠測試
3、廣角相機:樣品整體形貌一覽無余,且測試位置一鍵直達
4、搭配高分辨微區(qū)相機:千倍放大*對焦測試區(qū)域,搭配XY微米級移動平臺,三維方向?qū)咕劢箿y試點位,誤差<±2 μm
5、多重保護系統(tǒng):V型激光保護,360°探入保護,保護您的樣品不受損害,保證儀器安全可靠的運作
6、全自動移動平臺:可編程化的操作,針對同一類型樣品,編程測試點位,同一類樣品自動尋路直接測試
7、人性化的軟件:搭配EFP核心算法軟件,人機交互,智慧操作
8、可搭配全自動進送樣系統(tǒng)
蘇州實譜信息科技有限公司是一家以X熒光光譜儀為核心,集多種檢測儀器的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體的高科技企業(yè)。
產(chǎn)品價格:
900000.00 元/臺 起
發(fā)貨地址:
江蘇蘇州
包裝說明:
不限
產(chǎn)品數(shù)量:
10.00 臺
產(chǎn)品規(guī)格:
不限
信息編號:
189932998
公司編號:
22111013
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