全自動(dòng)晶圓去膠清洗機(jī)適用于硅片晶圓濕法清洗、濕法刻蝕、顯影、去膠、LIFT-OFF等工藝；

標(biāo)準(zhǔn)吸盤適用于2-12英寸晶圓，其它規(guī)格可定制；

一體式清洗腔體；

進(jìn)口伺服電機(jī)控制，轉(zhuǎn)速及工藝時(shí)間參數(shù)可自由設(shè)定；

采用進(jìn)口專用旋轉(zhuǎn)電機(jī)，運(yùn)行安靜平穩(wěn)，故障率低；

全自動(dòng)晶圓去膠清洗機(jī)真空吸盤采用PEEK+PTFE材質(zhì)，強(qiáng)度高、耐腐蝕、密封性能好；

載片臺(tái)采用真空吸附+PIN定位，防止甩片碎片；真空度≤-100KPa；

化學(xué)液及純水自動(dòng)供應(yīng)，可視可調(diào)；

可裝配裝取片機(jī)器人；

全自動(dòng)晶圓去膠清洗機(jī)配套液供應(yīng)系統(tǒng)；

配有兆聲清洗，兆聲頻率280-950KHz可選，功率連續(xù)可調(diào)；

可配置滾刷刷洗；

最高轉(zhuǎn)速可達(dá)3500RPM+；

工藝參數(shù)可設(shè)定存儲(chǔ)；

全自動(dòng)晶圓去膠清洗機(jī)主要優(yōu)點(diǎn)及應(yīng)用

增加化膠區(qū)多片化膠功能，立式擺放，同時(shí)可放多片繃膜環(huán)進(jìn)行化膠，提高清洗效率增加加液及回收桶，方便加液及集中處理廢液，并且翹曲，厚度可以測(cè)量

化膠溶液循環(huán)凈化過(guò)濾系統(tǒng)，減少排放，提高重用率，降

全自動(dòng)晶圓去膠清洗機(jī)全包圍安全護(hù)罩，保護(hù)操作人員不被機(jī)械部件碰撞

采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，可精準(zhǔn)定位

產(chǎn)品夾爪，齒輪齒條運(yùn)動(dòng)，可兼容8~12吋片環(huán)，不用頻繁更換料爪

放置到化膠浸泡區(qū)浸泡15-20S，可垂直放置5件

清潔毛刷共8個(gè)，前后兩組，上下，左右清洗，全方位無(wú)死角

深圳市科圣達(dá)超聲波自動(dòng)化設(shè)備有限公司是一家專業(yè)從事精密超聲波清洗設(shè)備、工業(yè)冷水機(jī)組、工業(yè)純水機(jī)、陽(yáng)極氧化生產(chǎn)線、電鍍生產(chǎn)線、手機(jī)玻璃鋼化爐、手機(jī)玻觸摸屏化爐的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)于一體的高新技術(shù)企業(yè)。自上世紀(jì)90年代中期成立以來(lái)，科圣達(dá)人憑借領(lǐng)先的技術(shù)開發(fā)平臺(tái)及精湛的制造能力；各類產(chǎn)品在同行處于領(lǐng)先水平，精品有：噴絲板超聲波清洗機(jī)、過(guò)濾芯超聲波清洗機(jī)、制藥廠冷水機(jī)組、化工廠低溫冷水機(jī)組、食品廠冷水機(jī)組、飲料廠冷水機(jī)組、低溫冷水機(jī)組、飛機(jī)輪轂超聲波清洗機(jī)、超聲波清洗機(jī)、超聲波發(fā)生器、汽車配件超聲波清洗機(jī)、摩托車配件超聲波清洗機(jī)、陽(yáng)極氧化生產(chǎn)線、電鍍生產(chǎn)線、電鍍?cè)O(shè)備、五金沖壓件超聲波清洗機(jī)、連桿超聲波清洗機(jī)、五金零件超聲波清洗機(jī)、空調(diào)儲(chǔ)液罐超聲波清洗機(jī)、網(wǎng)紋輥超聲波清洗機(jī)、游標(biāo)卡尺超聲波清洗機(jī)、陶瓷網(wǎng)紋輥超聲波清洗機(jī)、含油軸承超聲波清洗機(jī)、電池殼超聲波清洗機(jī)、墨盒超聲波清洗機(jī)、齒輪碳?xì)涑暡ㄇ逑礄C(jī)、壓縮機(jī)部件清洗機(jī)、電鍍廠用超聲波清洗機(jī)、陶瓷插芯超聲波清洗機(jī)、陶瓷套筒超聲波清洗機(jī)、陶瓷基片超聲波清洗機(jī)、平板電腦觸摸屏超聲波清洗機(jī)、平板電腦玻璃超聲波清洗機(jī)、復(fù)印機(jī)部件超聲波清洗機(jī)、打印機(jī)部件超聲波清洗機(jī)、鐘表玻璃超聲波清洗機(jī)、手表玻璃超聲波清洗機(jī)、手機(jī)蓋板玻璃超聲波清洗機(jī)、手機(jī)玻璃蓋板超聲波清洗機(jī)、壓縮機(jī)配件超聲波清洗機(jī)、壓縮機(jī)零件超聲波清洗機(jī)、鐵芯超聲波清洗機(jī)、懸掛鏈超聲波清洗機(jī)、電腦散熱器超聲波清洗機(jī)、電容器鋁殼超聲波清洗機(jī)、電容器外殼超聲波清洗機(jī)、渦輪增壓器超聲波清洗機(jī)、手機(jī)不銹鋼外殼超聲波清洗機(jī)、手機(jī)塑膠外殼超聲波清洗機(jī)、液晶電視機(jī)塑膠框清洗機(jī)、全自動(dòng)超聲波清洗機(jī)、液晶電視機(jī)塑膠框模組清洗機(jī)、渦輪增壓器殼體超聲波清洗機(jī)、汽修廠超聲波清洗機(jī)、平板電腦觸摸屏鋼化爐、平板電腦玻璃鋼化爐、汽車4S店超聲波清洗機(jī)、不銹鋼餐具超聲波清洗機(jī)、電渦流緩速器超聲波清洗機(jī)、光纖活動(dòng)連接器超聲波清洗機(jī)、汽車零部件超聲波清洗機(jī)、酒瓶蓋超聲波清洗機(jī)、全自動(dòng)超聲波清洗機(jī)、空調(diào)零件超聲波清洗機(jī)、微電機(jī)轉(zhuǎn)子超聲波清洗機(jī)、空調(diào)配件超聲波清洗機(jī)、空調(diào)部件超聲波清洗機(jī)、中性筆頭超聲波清洗機(jī)、機(jī)車制動(dòng)閥超聲波清洗機(jī)、高爾夫球頭超聲波清洗機(jī)、游泳鏡超聲波清洗機(jī)、減震器超聲波清洗機(jī)、繼電器觸點(diǎn)超聲波清洗機(jī)、LED支架超聲波清洗機(jī)、LED導(dǎo)線框超聲波清洗機(jī)、實(shí)驗(yàn)室用超聲波清洗機(jī)、ITO導(dǎo)電玻璃清洗機(jī)、吸引干燥機(jī)、陶瓷網(wǎng)紋輥清洗劑、研究所用超聲波清洗機(jī)、汽車鋁制熱交換器超聲波清洗機(jī)、線路板鉆孔機(jī)冷水機(jī)組、壓縮機(jī)轉(zhuǎn)子超聲波清洗機(jī)、汽車鋁制熱交換器超聲波清洗機(jī)、線路板超聲波清洗機(jī)、粉末冶金件超聲波清洗機(jī)、PCB板超聲波清洗機(jī)、手機(jī)電池清洗機(jī)、手機(jī)鋰電池清洗機(jī)、電路板超聲波清洗機(jī)、汽車排氣筒尾喉超聲波清洗機(jī)、氧化鋅電阻片超聲波清洗機(jī)、手機(jī)屏蔽罩超聲波清洗機(jī)、手機(jī)屏蔽架超聲波清洗機(jī)、手機(jī)屏蔽蓋超聲波清洗機(jī)、剃須刀超聲波清洗機(jī)、高壓噴淋清洗機(jī)、通過(guò)式（超聲）噴淋清洗機(jī)、手機(jī)玻璃超聲波清洗機(jī)、手機(jī)電容屏鋼化爐、手機(jī)觸摸屏超聲波清洗機(jī)、剎車片超聲波清洗機(jī)、平板電腦外殼超聲波清洗機(jī)、手機(jī)電容屏超聲波清洗機(jī)、刀具超聲波清洗機(jī)、壓鑄件超聲波清洗機(jī)、光學(xué)玻璃超聲波清洗機(jī)、光學(xué)棱鏡超聲波清洗機(jī)、石英晶片超聲波清洗機(jī)、手術(shù)刀超聲波清洗機(jī)、光學(xué)鏡片超聲波清洗機(jī)、光學(xué)透鏡超聲波清洗機(jī)、光學(xué)鏡頭超聲波清洗機(jī)、鋁合金壓鑄件超聲波清洗機(jī)、樹脂鏡片超聲波清洗機(jī)、液晶玻璃超聲波清洗機(jī)、監(jiān)控?cái)z像頭玻璃鏡片超聲波清洗機(jī)、剎車盤超聲波清洗機(jī)、醫(yī)療器械超聲波清洗機(jī)、發(fā)動(dòng)機(jī)缸蓋超聲波清洗機(jī)、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)缸蓋超聲波清洗機(jī)、發(fā)動(dòng)機(jī)缸套超聲波清洗機(jī)、摩托車發(fā)動(dòng)機(jī)缸蓋超聲波清洗機(jī)、散熱器超聲波清洗機(jī)、五金彈簧超聲波清洗機(jī)、磁性材料超聲波清洗機(jī)、船用換熱器超聲波清洗機(jī)、修船廠超聲波清洗機(jī)、船用熱交換器超聲波清洗機(jī)、發(fā)動(dòng)機(jī)缸體超聲波清洗機(jī)、電梯部件超聲波清洗機(jī)、電梯零件超聲波清洗機(jī)、減震器超聲波洗凈機(jī)、活塞環(huán)超聲波清洗機(jī)、活塞銷超聲波清洗機(jī)、化油器超聲波清洗機(jī)、搖臂超聲波清洗機(jī)、空調(diào)銅管超聲波清洗機(jī)、碳?xì)涑暡ㄇ逑礄C(jī)、超聲波震板、曲軸超聲波清洗機(jī)、碳?xì)湔麴s回收機(jī)、碳?xì)湔婵粘暡ㄇ逑礄C(jī)、單槽超聲波清洗機(jī)、兩槽超聲波清洗機(jī)、三槽超聲波清洗機(jī)、四槽超聲波清洗機(jī)、五槽超聲波清洗機(jī)、冷水機(jī)組、工業(yè)冷水機(jī)組、風(fēng)冷式冷水機(jī)組、水冷式冷水機(jī)組、螺桿冷水機(jī)組、超聲波清洗機(jī)用冷水機(jī)組、鍍膜機(jī)冷水機(jī)組、陽(yáng)極氧化冷水機(jī)組、電鍍冷水機(jī)組、反應(yīng)釜冷水機(jī)組、注塑機(jī)冷水機(jī)組、印刷機(jī)冷水機(jī)組等　　獨(dú)特的企業(yè)文化，富有朝氣、激情的年輕化管理團(tuán)隊(duì)，保持領(lǐng)先的研發(fā)、制造技術(shù)，超前的環(huán)保意識(shí)為科圣達(dá)公司創(chuàng)造了廣闊的市場(chǎng)空間，產(chǎn)品源源不斷的出口到日本、美國(guó)、歐盟、東南亞等發(fā)達(dá)國(guó)家和地區(qū)，已成為國(guó)內(nèi)外企業(yè)首選的超聲波清洗設(shè)備。未來(lái)的科圣達(dá)將全面提升管理素質(zhì)，通過(guò)體制創(chuàng)新、資源整合和人才隊(duì)伍的不斷優(yōu)化，領(lǐng)先同行業(yè)迅速占領(lǐng)工業(yè)制冷行業(yè)高端市場(chǎng)，逐漸將科圣達(dá)公司建設(shè)成高科技的大型機(jī)械設(shè)備企業(yè)集團(tuán)。