全自動(dòng)晶圓基板清洗機(jī)超聲波清洗原理是通過(guò)換能器將高頻超聲波聲能轉(zhuǎn)換成高頻機(jī)械振蕩，清洗槽內(nèi)的液體被每秒幾萬(wàn)次高頻機(jī)械振蕩作用下，液體中形成高頻聲壓，宿遷晶圓，不斷在液體中輻射傳播。液體在高頻交替變化作用下形成數(shù)以萬(wàn)計(jì)的空化泡，并在內(nèi)部發(fā)生快速爆裂撞擊污物表層，污物被層層破壞和剝離，從而達(dá)到清洗效果。

全自動(dòng)晶圓基板清洗機(jī)化學(xué)清洗槽（也叫酸槽/化學(xué)槽），主要有HF，H2SO4，H2O2，HCL等酸堿液體按一定比例配置，目的是為了去除雜質(zhì)，去離子，去原子，后還有DI清洗。IPA是，晶圓清洗設(shè)備，就是工業(yè)酒精，是用來(lái)clean機(jī)臺(tái)或parts的，是為了減少partical的。

全自動(dòng)晶圓基板清洗機(jī)無(wú)機(jī)類異物清洗主要用水沖洗，但是水往往是以不同壓力及形式?jīng)_洗在玻璃基板的表面。① HPMJ—High Pressure Micro Jet， 高壓微粒噴射清洗技術(shù)，通過(guò)對(duì)水增壓，在噴嘴處以高壓水微粒形式，噴射在玻璃基板表面，達(dá)到去除表面大顆粒異物的目的。有些制程特性的需求，也可以和二氧化碳一起混合加入，形成二氧化碳水，即碳酸，讓水可以導(dǎo)電，達(dá)到可以去除靜電的目的。② AAJET—Aqua Air Jet，水氣二流體清洗技術(shù)。這種技術(shù)是把水和空氣在一定的壓力下，按照一定的比例從噴嘴中噴出。其中噴嘴的形式，有單個(gè)噴出扇形模式，也要直接采用Slit Nozzle模式，即噴出為水幕。第二種噴出形式在玻璃基板表面形成的壓力較為均勻，不會(huì)對(duì)產(chǎn)品產(chǎn)生不良。③Roller Brush- 旋轉(zhuǎn)毛刷清洗技術(shù)，利用高速旋轉(zhuǎn)的毛刷并增加適當(dāng)?shù)膲喝肓?，晶圓腐蝕設(shè)備，達(dá)到清潔玻璃表面異物的目的。

全自動(dòng)晶圓基板清洗機(jī)單晶圓清洗系統(tǒng)，用于先進(jìn)的無(wú)損兆聲清洗?？梢赃m用于易受損的帶圖案或無(wú)圖案的基片，包含帶保護(hù)膜的掩模版。為了在確保不損傷基片的情況下達(dá)到*化的清洗效果，晶圓清洗，兆聲能量的密度必須保持在稍稍低于樣片上任意位置上的損傷閾值。確保了聲波能量均勻分布到整個(gè)基片表面，通過(guò)分布能量的zui大化支持的清洗，同時(shí)保證在樣片的損傷閾值范圍內(nèi)。

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