氬氣主要作為稀釋氣、運載氣、保護氣、濺射氣和激光混合氣。也用于焊接、不銹鋼制造、冶煉,還用于半導體制造工藝中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結等。用作標準氣、平衡氣、零點氣等。
氬氣可以用來作為色譜法,濺射法,等離子蝕刻和離子注入的載氣。它在晶體生長,葡萄栽培和藥品包裝等方面提供了氬封環(huán)境。氬氣和氟以及氦氣混合后可以應用在準分子激光中。作為絕緣氣體,氬氣還是提高節(jié)能窗的隔熱有效性的一種流行方式。
氬氣被廣泛用于填充和熒光燈燈泡,以防止氧氣腐蝕燈泡的燈絲(通常將燈絲加熱到很高的溫度)。氬氣也可用于形成惰性氣氛,在進行弧焊,上升的半導體晶體和其他工藝時,需要與其他大氣隔絕。
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