BAG05x UHV Bayard Alpert 熱電離被動(dòng)真空計(jì)

INFICON Bayard-Alpert 被動(dòng)真空計(jì)頭 BAG050、BAG051、BAG052 和 BAG053 設(shè)計(jì)用于 INFICON 真空計(jì)控制器 VGC083A 和 VGC083B。氧化釔涂層銥絲適用于空氣和惰性氣體中的一般真空應(yīng)用，例如在 N2 和氬氣中。如果氣體與氧化釔涂層銥絲不兼容，則為其選擇鎢絲。BAG05x 真空計(jì)還可使用其他制造商生產(chǎn)的兼容真空計(jì)控制器操作。INFICON 被動(dòng) Bayard-Alpert 電離真空計(jì) (BAG05x) 可采用三種不同的配置：

BAG050 屬于 EB 脫氣 UHV 祼電離真空計(jì)，能夠測(cè)量低至 2 × 10-11 Torr 的壓力。

BAG051 屬于電阻式脫氣 (I2R) 祼電離真空計(jì)，能夠測(cè)量低至 4 × 10-10 Torr 的壓力。

BAG052 和 BAG053 屬于電阻式脫氣 (I2R) 玻璃封裝電離真空計(jì)，能夠測(cè)量低至 4 × 10-10 Torr 的壓力。

385 Convectron ATM

Granville-Phillips的275 Mini-Convectron模塊提供從大氣壓到10E-4Torr跨越七個(gè)數(shù)量級(jí)的真空壓力測(cè)量。有模擬量輸出型、R8485輸出接口型及Device Net輸出接口型(在另外的樣器中介紹)可選。基本型帶有可調(diào)的設(shè)審點(diǎn)爆電器允許你控制真空工藝的其他功能或是實(shí)現(xiàn)安全互鎖。數(shù)顯型帶有明亮的三位數(shù)字顯示可以實(shí)時(shí)顯示現(xiàn)場(chǎng)壓力測(cè)量値。帶有方便的線性模擬量輸出信號(hào)的版本也是可選的。

具有標(biāo)準(zhǔn)供電要求和輸出電壓的有源真空計(jì)范圍的一部分，允許簡(jiǎn)單集成到使用有源皮拉尼真空計(jì)、熱電偶真空計(jì)、倒磁控管真空計(jì)、應(yīng)變真空計(jì)、寬量空計(jì)和電離真空計(jì)的系統(tǒng)中。所有這些均與 TIC 儀器控制器、多管路數(shù)字顯示屏和控制器兼容

VSC43 1400到1 mbar Piezo 壓阻規(guī)

應(yīng)用實(shí)例

晶元鍵合是半導(dǎo)體技術(shù)中的一個(gè)程序步驟，是將兩片晶片合到一起。在某些如封裝等特定應(yīng)用中該操作需要在真空環(huán)境中完成。

挑戰(zhàn)

當(dāng)?shù)驼婵毡猛ㄟ^(guò)旁路將腔體抽到預(yù)定真空度時(shí)，系統(tǒng)需要非常平滑地切換到高真空泵。這樣鍵合過(guò)程就可以在高真空環(huán)境下進(jìn)行了。在抽真空過(guò)程中，需要準(zhǔn)確地控制旁路中的壓力，以避免對(duì)高真空環(huán)境產(chǎn)生破壞。在晶元鍵合過(guò)程中，腔體內(nèi)的真空也需要被以確保工藝要求。

解決方案

選用一款VSC43低真空規(guī)來(lái)控制旁路循環(huán)。它的陶瓷傳感器可以按要求的精度測(cè)量壓力，而且產(chǎn)品幾乎不需要維護(hù)。作為選項(xiàng)，也可以選用VD12真空計(jì)在測(cè)量現(xiàn)場(chǎng)直接顯示測(cè)量的壓力。

應(yīng)用領(lǐng)域

設(shè)備安裝工程

技術(shù)

真空泵運(yùn)行控制

包裝機(jī)械

工程機(jī)械

化工工藝

真空爐

昆山熙日機(jī)械設(shè)備有限公司是由一批長(zhǎng)期服務(wù)于某外企的骨干精英組建而成，注冊(cè)資金100萬(wàn)，自公司成立起一直致力于真空設(shè)備及配件的研究、生產(chǎn)、推廣、銷售、安裝及維修領(lǐng)域。 本公司經(jīng)過(guò)多年不懈的努力，已擁有一支專業(yè)的IT研發(fā)人員和全面的銷售網(wǎng)絡(luò)，所經(jīng)營(yíng)的產(chǎn)品暢銷國(guó)內(nèi)外，現(xiàn)已與國(guó)內(nèi)外多家大型企業(yè)保持著長(zhǎng)期的合作關(guān)系，本公司產(chǎn)品以質(zhì)量?jī)?yōu)良、操作簡(jiǎn)單、性價(jià)比高及周到的售后服務(wù)等廣受市場(chǎng)好，使得公司的效益得到迅速發(fā)展，為公司的長(zhǎng)遠(yuǎn)發(fā)展打下牢固的基礎(chǔ)。 公司主要經(jīng)營(yíng)： X系列單級(jí)旋片泵、進(jìn)口德國(guó)BECKER貝克、德國(guó)BUSCH普旭、德國(guó)LEYBOLD萊寶、德國(guó)RIETSCHLE偉力(里其樂(lè))、英國(guó)愛(ài)德華、臺(tái)灣凱威科、日本ORION好利旺、龍挺RVP系列等品牌真空泵及英?？?INFICON)檢漏儀；并提供優(yōu)惠的真空泵配件（進(jìn)口）：油霧分離器（排氣過(guò)濾器）、葉片、碳精片、油封（軸封）、密封套件、軸套、軸承、連軸器墊（套）、連軸器、排氣閥（片），視油鏡、空氣總成、風(fēng)格（空氣濾芯）、油過(guò)濾器（油格），風(fēng)扇葉、風(fēng)扇罩、逆止閥、氣鎮(zhèn)閥、散熱器、防震腳及真空泵油； 產(chǎn)品廣泛適用于：電光源、真空鍍膜、機(jī)械、光盤(pán)、冶金、石油、化工、造紙、食品、、電子、電力、陶瓷、玻璃、電路板、引水、印染、制糖、制冷設(shè)備、工藝吸塑、科研、干燥及汽車維修等單位。 售后服務(wù)：公司擁有專業(yè)的維修技術(shù)人員及先進(jìn)的檢測(cè)設(shè)備，并長(zhǎng)期提供真空泵技術(shù)指導(dǎo)及修理、維護(hù)、保養(yǎng)、檢測(cè)、咨詢等服務(wù)；服務(wù)承諾：凡在本公司所購(gòu)真空設(shè)備，均享有一年免費(fèi)保修期，并終身提供技術(shù)支持。 公司堅(jiān)持“以誠(chéng)為本、信譽(yù)至上”為宗旨，不斷創(chuàng)新改進(jìn)，完善售后服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。我們以的產(chǎn)品，的質(zhì)量，的價(jià)格，質(zhì)的服務(wù)，愿同各界朋友互相合作，開(kāi)拓美好的未來(lái)。