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    目前，準分子燈正用于生態(tài)學、光化學、光生物學、醫(yī)學、犯罪學、石油化學、物理學、微電子學、不同的工程任務、廣泛的技術、科學、包括食品工業(yè)在內(nèi)的各種工業(yè)分支等等。
    準分子燈的優(yōu)點
    準分子燈相對于其他紫外線和真空紫外線源的主要優(yōu)點如下：
    紫外線的高平均比功率（每立方厘米活性介質(zhì)高達1瓦特）；
    發(fā)射光子的高能量（從3.5到11.5eV）；
    半高光譜全寬為2至15nm的準單色；
    紫外線的高功率光譜密度；
    為特定目的選擇紫外線的xxx光譜波長；
    由于多種工作準分子的同時激發(fā)，多波紫外線的可用性；
    沒有可見光和紅外；
    即時實現(xiàn)操作模式；
    面發(fā)熱低；
    不含汞。

    準分子光源作用原理
    基于準分子光源特點，我們來看看準分子光源是如何產(chǎn)生作用的。以準分子波長172 nm為例，紫外線照射固體表面后，表面的污染物有機分子結(jié)合被強的光能切斷、氧化，而后分解成氧氣和氫氣等易揮發(fā)性物質(zhì)，終揮發(fā)消失，被清洗后的表面清潔度高。
    1、打破分子鍵
    打破有機物質(zhì)的分子鍵的能量需要超過物質(zhì)結(jié)合能的光能，同時物質(zhì)的能量吸收（激發(fā)）越大，越容易引發(fā)反應（分解）并且所需的處理時間越短。因此使用低壓紫外線燈無法打破的結(jié)合能可以使用準分子燈產(chǎn)生的 172nm 波長進行分解。
    2、大量產(chǎn)生激發(fā)態(tài)氧原子
    準分子紫外線燈與傳統(tǒng)汞紫外線燈比較，光強超大，靶向準，無汞制造，綠色環(huán)保，可回收，沒有二次污染。與低壓紫外燈的185nm波長相比，準分子燈172nm波長的分子氧吸收系數(shù)大20倍左右。這不僅可以產(chǎn)生高密度的活性氧，而且通過直接作用于氧氣，可以產(chǎn)生具有強大氧化能力的強激發(fā)氧。

    在紫外光譜區(qū)發(fā)射的光源廣泛用于涉及光化學過程的技術，例如油墨、粘合劑、清漆和涂層的固化、光刻、電介質(zhì)的紫外誘導生長、紫外誘導表面改性和清潔或材料沉積。非相干紫外源與激光源相比具有一些優(yōu)勢，因為它們成本低、照射面積大且易于使用，尤其是在設想大規(guī)模工業(yè)過程時。
    汞燈(λ=253.7nm)是廣泛傳播的紫外線源，但其生產(chǎn)、使用和處理舊燈對人類健康和環(huán)境污染構(gòu)成威脅。與常用的汞燈相比，準分子燈具有許多優(yōu)點。準分子的一個特定特征是在基電子態(tài)中不存在強鍵。因此，可以從等離子體中提取高強度紫外線，而不會產(chǎn)生明顯的自吸收。這使得可以有效地將沉積到活性介質(zhì)的能量轉(zhuǎn)化為紫外線。

    172nm紫外線UV光清洗技術的應用范圍:
    1.各種材料(ITO玻璃,光學玻璃,鉻板,掩膜版,拋光石英晶體,硅)晶片和帶有氧化膜的金屬等進行精密清洗處理;
    2.石臘,松香,油脂,人體體油以及殘余的光刻膠/聚酰亞胺和環(huán)氧樹脂
    3.高精度PCB焊接前的清洗和去除殘余的焊劑以及敷銅箔層壓板的表面清潔和氧化層生成；
    4.真空密封技術和熱壓焊接前的表面清潔處理以及各種微型元件的清洗
    5.在LCD、OLED, Touch Panel科研/生產(chǎn)中，在涂光刻膠、PI膠、定向膜、鉻膜、色膜前經(jīng)過光清洗，可以大的提高基體表面潤濕性，增強基體表面的粘合力；
    6.印制電路板生產(chǎn)中，對銅底板，印刷底板進行光清洗和改質(zhì)，在導線焊接前進行光清洗，可以提高熔焊的接觸面積，大大增加連接強度。特別是高精度印制電路板，當線距達到亞微米級時，光清洗可輕易地去除在線距之間很小的微粒，可以大大提高印制電路板的質(zhì)量。
    7.大規(guī)模集成電路的密度越來越高，晶格的微細化越來越密，要求表面的潔凈度越來越高，光清洗可以有效地實現(xiàn)表面的原子清潔度，而且對芯片表面不會造成損傷。?
    8.在半導體生產(chǎn)中，硅晶片涂保護膜、鋁蒸發(fā)膜前進行光清洗，可以提高粘合力，防止針孔、裂縫的發(fā)生
    9.在光盤的生產(chǎn)中，沉積各種膜前作光清洗準備，可以提高光盤的質(zhì)量。
    10.磁頭固定面的粘合，磁頭涂敷，以及提高金屬絲的連接強度，光清洗后效果更好。
    11.石英晶體振蕩器生產(chǎn)中，除去晶體檢測后涂層上的墨跡，晶體在銀蒸發(fā)沉積前，進行光清洗可以提高鍍膜質(zhì)量和產(chǎn)品性能。
    12.在IC卡表面插裝ROM前，經(jīng)過光清洗可提高產(chǎn)品質(zhì)量。
    13.彩色濾光片生產(chǎn)中，光清洗后能洗凈表面的有機污染物。
    14.敷銅箔層壓板生產(chǎn)中，經(jīng)過光照改質(zhì)，不僅表面潔凈而且表面形成十分均勻的保護氧化層，產(chǎn)品質(zhì)量顯著提高。
    15.光學玻璃經(jīng)過紫外光清洗后，鍍膜質(zhì)量更好。
    16.樹脂透鏡光照后，能加強與防反射板的粘貼性。
    典型應用包括：
    ·表面的原子級清洗
    ·聚合物粘接
    ·去除有機分子
    ·釋放捕獲的無機分子
    ·微流控制作
    ·微米/納米構(gòu)型
    ·紫外光固化
    ·表面化學改性
    ·表面
    ·表面氧化
    ·金屬粘結(jié)準備……
    .光酸化水處理,促進酸化水處理
    .光重合反應
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