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  • 作者:蘇州億韻匯光伏科技有限公司 2023-12-20 08:30 150
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    單晶硅片是單晶硅棒經(jīng)由一系列工藝切割而成的,制備單晶硅的方法有直拉法(CZ 法)、區(qū)熔法(FZ 法)和外延法,其中直拉法和區(qū)熔法用于制備單晶硅棒材。區(qū)熔硅單晶的需求來自于功率半導(dǎo)體器件。
    單晶硅片在日常生活中是電子計(jì)算機(jī)、自動(dòng)控制系統(tǒng)等現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可缺少的基本材料;電視、電腦、冰箱、電話、手表、汽車,處處都離不開單晶硅材料,單晶硅片作為科技應(yīng)用普及材料之一,已經(jīng)滲透到人們生活中的各個(gè)角落。

    單晶硅片是單晶硅棒經(jīng)由一系列工藝切割而成的,制備單晶硅的方法有直拉法(CZ 法)、區(qū)熔法(FZ 法)和外延法,其中直拉法和區(qū)熔法用于制備單晶硅棒材。區(qū)熔硅單晶的需求來自于功率半導(dǎo)體器件;單晶硅片來自于單晶硅硅棒切割,硅棒采取類似藍(lán)寶石等單晶材料的生長方式,因此,其原子排列短程有序、長程也有序,單晶硅片回收價(jià)格對(duì)比,得到的半導(dǎo)體雜質(zhì)、缺陷相對(duì)較少,但相應(yīng)的成本也更高。

    單晶硅片的生產(chǎn)工藝流程:
    1、單晶硅是從大自然豐富的硅原料中提純制造出多晶硅,再通過區(qū)熔或直拉法生產(chǎn)出區(qū)熔單晶或直拉單晶硅,進(jìn)一步形成硅片、拋光片、外延片等,直拉法生長出的單晶硅,用在生產(chǎn)低功率的集成電路元件。而區(qū)熔法生長出的單晶硅則主要用在高功率的電子元件;
    2、直拉法加工工藝:加料→熔化→縮頸生長→放肩生長→等徑生長→尾部生長,長完的晶棒被升至上爐室冷卻一段時(shí)間后取出,即完成一次生長周期。懸浮區(qū)熔法加工工藝:先從上、下兩軸用夾具準(zhǔn)確地垂直固定棒狀多晶錠。用電子轟擊、高頻感應(yīng)或光學(xué)聚焦法將一段區(qū)域熔化,使液體靠表面張力支持而不墜落。移動(dòng)樣品或加熱器使熔區(qū)移動(dòng)。這種方法不用坩堝,能避免坩堝污染,因而可以制備很純的單晶,也可采用此法進(jìn)行區(qū)熔。

    單晶硅片的制法通常是先制得多晶硅或無定形硅,然后用直拉法或懸浮區(qū)熔法從熔體中生長出棒狀單晶硅。單晶硅棒是生產(chǎn)單晶硅片的原材料,隨著國內(nèi)和國際市場(chǎng)對(duì)單晶硅片需求量的快速增加,單晶硅棒的市場(chǎng)需求也呈快速增長的趨勢(shì);回收單晶硅指的是回收電池片、藍(lán)膜片單晶硅和多晶硅等硅產(chǎn)品,這些產(chǎn)品在如今的電器中也是廣泛用到的;而它們雖然都是廢舊的硅材料,但是從某種程度上來說,它們都是成品,回收利用這些硅料,可以省去大量的加工過程。
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