我司開(kāi)發(fā)了半導(dǎo)體行業(yè)芯片失效分析激光蝕刻設(shè)備等離子蝕刻設(shè)備并在多家國(guó)家實(shí)驗(yàn)室和實(shí)驗(yàn)室使用。提供標(biāo)準(zhǔn)的激光打標(biāo)系統(tǒng)及其配套的軟硬件系統(tǒng),可根據(jù)客戶要求定制激光和自動(dòng)化解決方案。
激光切割玻璃的主要工藝有兩種:1)熔融切割法:利用玻璃處在軟化的溫度下具有較好的塑性和延展性,用聚焦的CO2激光或者紫外激光照射到軟化的玻璃表面,激光具有的較高的能量密度會(huì)導(dǎo)致玻璃融化,然后用氣流吹走熔融的玻璃,產(chǎn)生溝槽,從而實(shí)現(xiàn)玻璃的熔融切割。
成絲切割是一種可行的工藝,激光行業(yè)均具有成熟解決方案,同時(shí),在顯示行業(yè)內(nèi)已進(jìn)行廣泛的應(yīng)用。當(dāng)超快激光束通過(guò)玻璃材料傳播時(shí),同時(shí)存在克爾自聚焦和等離子體散焦,光束在兩者動(dòng)態(tài)平衡中能實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)距離傳播,在材料中形成微米級(jí)的絲孔,這種絲孔在玻璃中能延展幾毫米的深度。直線電機(jī)控制玻璃工件相對(duì)于激光束進(jìn)行運(yùn)動(dòng)來(lái)生成等間距的眾多絲孔,通過(guò)優(yōu)化絲孔間距產(chǎn)生沿直徑方向的微裂紋。對(duì)存在微裂紋的玻璃施加的作用,可增加微裂紋處的應(yīng)力,使玻璃沿微裂紋斷裂,達(dá)到切斷的目的。
玻璃激光切割的激光器選擇:CO2激光器發(fā)射的激光波長(zhǎng)為10.6μm,而玻璃能強(qiáng)烈地吸收波長(zhǎng)10.6μm的激光,幾乎所有的激光能量都被玻璃表面15μm吸收層所吸收,所以玻璃激光切割系統(tǒng)幾乎都配置CO2激光器。
激光切割玻璃工藝原理:超快激光通過(guò)聚焦頭聚焦獲得的微米級(jí)光束,具有高峰值功率密度。光束作用在玻璃材料上時(shí),光束中心光強(qiáng)度比邊緣低,使得材料中心折射率比邊緣變化大,光束中心傳播速度比邊緣慢,光束出現(xiàn)非線性光學(xué)克爾效應(yīng)來(lái)產(chǎn)生自聚焦,繼續(xù)提升功率密度。直到達(dá)到某個(gè)能量閾值,材料產(chǎn)生低密度等離子體,降低材料中心折射率,實(shí)現(xiàn)光束散焦。在實(shí)際切割玻璃中,優(yōu)化聚焦系統(tǒng)及焦距,可實(shí)現(xiàn)重復(fù)性聚焦/散焦過(guò)程,形成穩(wěn)定穿孔。
蘇州飛鐳激光科技的備品備件宗旨:備件保證,為達(dá)到超快響應(yīng)要求,公司通過(guò)配件倉(cāng)庫(kù)為用戶提供配件更換服務(wù)。在確認(rèn)需要進(jìn)行硬件更換時(shí),抵達(dá)現(xiàn)場(chǎng)服務(wù),為了保證故障及時(shí)得到修復(fù),主要配件提供一備一用預(yù)案。歡迎來(lái)電咨詢。
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