結(jié)構(gòu)和擴(kuò)散泵工作原理
油擴(kuò)散泵主要由泵體、擴(kuò)散噴嘴、蒸氣導(dǎo)管、油鍋、加熱器、擴(kuò)散器、冷卻系統(tǒng)和噴射噴嘴等部分組成（見圖）。當(dāng)油擴(kuò)散泵用前級(jí)泵預(yù)抽到低于1帕真空時(shí),油鍋可開始加熱。沸騰時(shí)噴嘴噴出高速的蒸氣流，熱運(yùn)動(dòng)的氣體分子擴(kuò)散到蒸氣流中，與定向運(yùn)動(dòng)的油蒸氣分子碰撞。氣體分子因此而獲得動(dòng)量，產(chǎn)生和油蒸氣分子運(yùn)動(dòng)方向相同的定向流動(dòng)。到前級(jí)，油蒸氣被冷凝，釋出氣體分子，即被前級(jí)泵抽走而達(dá)到抽氣目的
真空泵油的蒸氣壓力直接影響到泵的真空性能。但是油擴(kuò)散泵所用的任何泵油，都是蒸氣壓不同的多組分的混合物。因此，要提高油擴(kuò)散泵的抽氣和真空性能，泵在工作中自身還要對(duì)泵油進(jìn)行分餾和凈化。分餾目的是使高蒸氣壓組分的油不進(jìn)入高真空工作噴嘴（高真空端的噴嘴）；凈化目的是使高蒸氣壓組分的油在工作過程中不斷為前級(jí)泵所抽除，使真空油逐漸趨于純凈。
泵油分餾主要是利用泵油各組分的蒸發(fā)溫度不同，使它們分別在不同的鍋爐面積上蒸發(fā)。當(dāng)工作后冷凝回流的泵油流到有保溫罩部分的泵壁時(shí)，油即得到預(yù)加熱，隨即流到油鍋周邊,經(jīng)鍋底環(huán)形加熱器加熱,輕餾分的油達(dá)到蒸發(fā)溫度便在外層蒸發(fā)而進(jìn)入低真空工作噴嘴 ——靠近前級(jí)泵的噴嘴；未能蒸發(fā)的某些輕餾分油也是因?yàn)楸戎剌^其他餾分油小而浮到油面上。由于外層蒸氣導(dǎo)管的限制，這部分餾分蒸發(fā)后仍進(jìn)入低真空工作噴嘴。重餾分的油在外層蒸氣導(dǎo)管中因未達(dá)到蒸發(fā)溫度而未蒸發(fā)，所以從外層由鍋底間的縫隙流到油鍋中心蒸發(fā)，進(jìn)入高真空工作噴嘴。輕、重餾分的油蒸氣這樣分道供給低真空工作噴嘴和高真空工作噴嘴這一個(gè)過程叫做分餾。從噴射噴嘴噴出的油蒸氣在前級(jí)得不到充分的冷卻，蒸氣中的輕餾分即未能完全冷凝而被前級(jí)泵抽除。這樣循環(huán)工作，泵油中的輕餾分就越來越少，重餾分的比例也就越來越大，泵油便逐漸趨于純凈。這一過程叫做凈化。泵油的分餾和凈化，對(duì)提高泵的極限真空有重要作用。
 擴(kuò)散泵
在泵結(jié)構(gòu)一定和無漏氣的前提下，油擴(kuò)散泵的抽氣特性和極限真空主要是看泵油的性能。泵油種類很多，表為幾類主要泵油及其特性      擴(kuò)散泵油被電爐加熱的時(shí)候，產(chǎn)生油蒸氣順著導(dǎo)流管經(jīng)過傘形噴嘴向下面噴出。因?yàn)閲娮焱饷嬗袡C(jī)械泵提供的真空（Pa）
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