? ? ??渦旋真空泵的工作腔是由一對型線共軛的渦旋盤副嚙合安裝組成。渦旋盤就是在盤面開有一個或幾個漸開線螺旋槽的渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交錯組裝在一起，液環(huán)真空泵安裝，動、靜盤之間由防自轉(zhuǎn)機構(gòu)保證180 相位差，這樣組成的一對渦旋盤副構(gòu)成了無油渦旋真空泵的抽氣機構(gòu)。靜渦旋盤與動渦旋盤彼此之間在幾條直線上接觸形成幾對月牙形封閉腔，動渦旋盤在曲軸的驅(qū) ?動下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運動，接觸點沿渦旋曲面移動實現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣。在電機的帶動下，曲軸每轉(zhuǎn)一圈，就有一組新的月牙封閉腔形成，從而實現(xiàn)渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)，金華液環(huán)真空泵，對被抽氣體形成包容和強制輸送。

　　公轉(zhuǎn)型是一個渦旋固定不動 ，另一個繞著它公轉(zhuǎn)平動 ，動渦盤由曲柄軸驅(qū)動，密封點位置隨主軸同步轉(zhuǎn)動。渦旋真空泵的整體結(jié)構(gòu)簡單、零件少、渦旋回轉(zhuǎn)線速度小、機械磨損少，羅茨液環(huán)真空泵，但需進行平衡設(shè)計。

水環(huán)真空泵機組選用的水環(huán)泵成為前級泵比其它的真空泵更為有利，因為它不但克服了單臺水環(huán)泵使用時極限壓力差（機組的極限壓力比水環(huán)泵的極限壓力有很大的提高），在一定壓力下抽氣速率低的缺點，而且與此同時又保留了羅茨真空泵能迅速工作，有比較大抽氣速率的優(yōu)點。

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