小型真空鍍膜裝置 VPC-260FVPC系列／小型真空鍍膜裝置 

 特　性
在管架上緊密安裝了主泵、輔助泵、真空管、電力系統(tǒng)、壓力測量口等必要機(jī)器的電阻加熱式低成本小型真空蒸發(fā)裝置。較適合用于小基板尺寸的基礎(chǔ)研究開發(fā)等實(shí)驗(yàn)。 應(yīng)　用
1.帶腳輪，*移動(dòng)的排氣裝置。2.通過玻璃鐘罩可看到內(nèi)部，操作性能良好。3.不會(huì)使主泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)，可以對(duì)真空槽進(jìn)行開放。4.通過蒸發(fā)電源和電極的追加，實(shí)現(xiàn)同時(shí)蒸鍍和多層蒸鍍。 
規(guī)格參數(shù)向**頁型　號(hào)VPC-260F真空性能極限壓力1.3 × 10-3Pa
6.6 × 10-4Pa (使用液氮時(shí))排氣時(shí)間4.0 × 10-3Pa/20min 
1.3 × 10-3Pa/20min (使用液氮時(shí))真空艙鐘罩尺寸玻璃鐘罩 （直徑300mm × 300mm(H))饋通圈8個(gè)端口（8側(cè)面）標(biāo)準(zhǔn)基板??較大尺寸※1□50mm ?? □140mm（較大）供電系統(tǒng)蒸發(fā)電極結(jié)構(gòu)1點(diǎn)式蒸發(fā)電源SEREM　“PSE-150C”, 0 – 10V , 150A (較大)排氣系統(tǒng)主泵油擴(kuò)散泵（氣冷） 200 L/sec液氮冷阱有前級(jí)泵油旋片真空泵 100 L/min油霧過濾器可選操作系統(tǒng)主閥門瓣閥副閥門三向切換閥自動(dòng)滲漏閥可選控制手動(dòng)控制控制系統(tǒng)皮拉尼真空計(jì)可選電離真空計(jì)可選外形尺寸（主體）530mm(W) × 550mm(D) × 1135mm(H)尺寸（蒸發(fā)電源）480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H)重量（主體）75kg重量（蒸發(fā)電源）40kg※1:不考慮基板較大尺寸時(shí)的膜厚分布值。條　件向**頁型　號(hào)VPC-250F電源需求主體單相, 100V, 1.35kVA蒸發(fā)電源單相, 200V, 1.5kVA接地端子D級(jí)（接地抗阻/100Ω 或較低）附件主體 ： 單相, 100V乙烯絕緣軟電纜（帶插頭） 2m蒸發(fā)電源 ： 單相, 200V乙烯絕緣軟電纜（R2.0-5帯端子） 
#br#外形圖向**頁VPC-26
#br#蒸發(fā)電源　SER
#br#饋通圈向**頁標(biāo)準(zhǔn)  bsp;可選部件※如果您單擊一個(gè)選項(xiàng)，您可以看到這個(gè)選項(xiàng)中的內(nèi)容。向**
#br#
鍍膜原理 : 蒸發(fā)鍍膜 ;
鍍膜材質(zhì) : 離子銀 ;
鍍種 : 真空鍍膜 ;
電鍍位置 : 浸鍍 ;
電鍍電源 : 直流電源 ;
適用范圍 : 材料試驗(yàn)，太陽能新能源研究 ;
型號(hào) : VPC-260F ;
** : ULVAC ;
加工定制 : 是 ;

玉川真空，**從事真空技術(shù)服務(wù)，面向：材料科學(xué)、生物技術(shù)、醫(yī)藥研發(fā)、制冷干燥、光伏、新能源、鋼鐵冶金、激光技術(shù)、核磁技術(shù)等諸多領(lǐng)域，提供定制化的真空系統(tǒng)解決方案。同時(shí)，也致力于為高校，科研院所，提供靈活快捷的小型試驗(yàn)設(shè)備加工。我們?cè)诒本┰O(shè)有生產(chǎn)工廠，歡迎您來人來電，洽談業(yè)務(wù)。 中文服務(wù)熱線：4006-040-858 上*務(wù)所： 徐匯區(qū)龍吳路1500號(hào)A座707 北京事務(wù)所： 豐臺(tái)區(qū)三路居孟家橋甲1號(hào) 自有** Tamarive玉川
加工方式 : OEM加工;ODM加工;來圖加工;
工藝 : 機(jī)加工;涂層;電鍍;表面處理;
**名稱 : TamaRive 玉川
質(zhì)量控制 : 內(nèi)部