激光干涉儀檢測機床的方法（以線性檢測為例）
1.進行線性測量的一般步驟 
（1）安裝設(shè)置激光干涉儀 
（2）將激光束與被測量的軸校準(zhǔn) 
（3）啟動測量軟件，并輸入相關(guān)參數(shù)（如材料膨脹系數(shù)）。 
（4）在機床上輸入測量程序，啟動干涉儀測量，并記錄數(shù)據(jù)。 
（5）用測量軟件分析測量數(shù)據(jù)，生產(chǎn)補償文件。 


² 光束快速準(zhǔn)直步驟 
（1）沿著運動軸將反射鏡與干涉鏡分開。 
（2）移動機床工作臺，當(dāng)光束離開光靶外圓時停止移動， 
² 垂直光束調(diào)整 
（3）使用激光頭后方的指形輪使兩道光束回到相同的高度。 
（4）使用三腳架中心主軸上的高度調(diào)整輪使激光頭上下旋轉(zhuǎn)，直到兩道光束都擊中光靶中心。 
² 水平光束調(diào)整 
（5）用三腳架左后方的小旋鈕，調(diào)整激光頭的角度偏轉(zhuǎn)，使兩道光束彼此重疊。 
（6）用三腳架左邊中間的大旋鈕，調(diào)整激光頭的水平位置，使兩道光束擊中光靶的中心。 
（7）沿著運動軸重新開始移動機床工作臺。在看到光束移開光靶時再次停止。重復(fù)步驟3到6，直到完成整個軸向的光鏡準(zhǔn)直。 
（8）達到軸的末端時，將機床移回，使反光鏡及線性反射鏡互相靠近。注：若其中一道光束離開光閘的光靶，是由于反光鏡側(cè)向偏移所造成。上下左右移動反光鏡，使從反光鏡返回的光束與干涉鏡的光束在光閘的光靶上互相重疊。 
　　重復(fù)步驟1到8，直到兩道光束在整個運動軸長度范圍內(nèi)都保持在光靶的中心。 
（9）保持光束和測量軸準(zhǔn)直。將光閘旋轉(zhuǎn)到其測量位置。當(dāng)反光鏡沿著機床的整個運動長度移動時，檢查線性數(shù)據(jù)采集軟件中顯示的信號強度。 
2測量誤差的產(chǎn)生及消除方法 
　　在使用激光干涉儀對數(shù)控機床的位置精度檢測中，導(dǎo)致測量精度偏差的因素很多，必須采取措施分析消除。外界環(huán)境的變化將會對測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性參數(shù)影響，如空氣溫度變化1 ℃、空氣壓力變化0.3 kPa、相對濕度變化30%。尤其是振動對測量準(zhǔn)確性的影響，振動產(chǎn)生的影響主要表現(xiàn)在測量數(shù)據(jù)的分散，重復(fù)測量精度差，甚至導(dǎo)致無法測量。 
　　因此，應(yīng)保證外界環(huán)境的穩(wěn)定性，較好在恒溫環(huán)境中測量。在外界環(huán)境偏離測量要求的標(biāo)準(zhǔn)條件時，可使用相關(guān)的補償參數(shù)加以修正，測量軟件可自動對溫度、壓力、濕度等條件進行補償。盡量減少熱源（照明燈、機床工作燈）。盡可能的減少外界的各種振動，可以在下班后比較安靜的環(huán)境下測量。干涉儀的安裝位置盡量靠近機床，并用較短的加長桿固定光學(xué)元件。磁力表座應(yīng)直接吸在機床床身或刀架等表面，避免吸裝在機床護罩或護蓋較薄弱的部分，確保吸裝的表面平坦且沒有油漬及塵土。 


中圖SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)


用途 : 檢測和校準(zhǔn)機床三坐標(biāo)機等 ;
較近工作距離 : 1（mm） ;
測量分辨率 : 1nm ;
測量范圍 : 40m ;
品種 : 激光干涉儀 ;
型號 : SJ6000 ;
品牌 : 中圖 ;
類型 : 激光干涉儀 ;
加工定制 : 否 ;

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