一、產(chǎn)品簡介
        CFB-N系列耐腐蝕分子泵其葉輪采用國內(nèi)首創(chuàng)的變截面葉齒，軸承采用陶磁精密軸承，以更高的可靠性實現(xiàn)了清潔無油的高真空環(huán)境，產(chǎn)品做了耐腐蝕的設計，具有超強的耐腐蝕性能，廣泛應用于光伏、照明、宇航、半導體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術(shù)的各個領(lǐng)域。
 
二、產(chǎn)品特點
        
由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。
軸承采用脂潤滑陶瓷精密軸承，可以實現(xiàn)泵的任意角度安裝。
 
三、主要性能指標
 
型號
CFB-600N
進氣口法蘭
—
LF160
CF150
排氣口法蘭
—
KF40
抽氣速率
L/s
600
壓縮比N2/H2
—
1×109/8×103
極限壓強
Pa
5×10-7
8×10-8   
電機轉(zhuǎn)速
rpm
24000
啟動時間
min
＜4.5
使用場合
—
耐腐蝕
振動值
μm
≤0.1
前極泵
L/s
4-8
冷卻水溫度
℃
≤20
泵體烘烤溫度
℃
<120
冷卻水流量
L/min
1
加熱器功率
W
<550
加熱器輸入電壓
V
AC220
安裝方向
—
垂直±5°
重量
kg
～29
 
四、特性曲線及安裝尺寸
 CFB系列抗沖擊分子泵對大氣的抽速曲線 
CFB系列抗沖擊分子泵對氮氣及氫氣壓縮比曲線
 CFB-N系列耐腐蝕復合分子泵安裝尺寸表
型號規(guī)格
CFB-600N
高真空法蘭
LF160
CF150
D1
Ф180
Ф202
D2
Ф236
Ф236
D3
□145.7
□145.7
L1
128
128
L2
137
137
H1
395.5
395.5
H2
108
108
H3
135.5
135.5
H4
104
104
泵腿螺釘孔
4-M8
4-M8

材質(zhì) : 不銹鋼 ;
型號 : CFB-600N ;
品牌 : 日本ULVAC ;
類型 : 日本ULVAC CFB-600N耐腐蝕分子泵 ;

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