專業(yè)愛德華真空泵維修愛德華EH4200羅茨泵維修保養(yǎng)
- 作者:東莞磊博機(jī)電設(shè)備有限公司 2016-01-18 19:46 651
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愛德華真空泵/EDWARDS真空泵/愛德華羅茨真空泵
EH機(jī)械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ),仍是最受歡迎的泵,可用于壓力范圍為0.01至10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機(jī)械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下,因此高度可靠。
應(yīng)用
半導(dǎo)體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風(fēng)洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2激光
功能和優(yōu)勢
適用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的壓力范圍下、需要超過3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的應(yīng)用場合。
它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
EH泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供:o 安靜的無振動運(yùn)行。
o 牢靠且防腐蝕。
o 先進(jìn)的軸封技術(shù),處理艙中不會出現(xiàn)油污染
防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級鑄鐵制造。
經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子,并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門,因此可將維護(hù)要求降到最低。
軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過優(yōu)化,可確保潤滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要最高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外,這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小,而這些特點(diǎn)正是先進(jìn)技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。
技術(shù)數(shù)據(jù)
型號
EH250
EH500
EH1200
EH2600
EH4200
排量(工作容積)
310 m3h-1/ 185 ft3min-1
505 m3h-1/ 300 ft3min-1
1195 m3h-1/ 715 ft3min-1
2590 m3h-1/ 1525 ft3min-1
4140 m3h-1/ 2440 ft3min-1
使用前級泵時的有效抽速
240 m3h-1/ 141 ft3min-1
350 m3h-1/ 206 ft3min-1
840 m3h-1/ 495 ft3min-1
1750 m3h-1/ 1031 ft3min-1
3100 m3h-1/ 1825 ft3min-1
泵的壓力差
0-180 mbar/0-140 Torr
0-110 mbar/0-83 Torr
0-90 mbar/0-68 Torr
0-80 mbar/0-60 Torr
0-60 mbar / 0-45 Torr
進(jìn)氣口連接
ISO63
ISO100
ISO160
ISO160
ISO250
出口連接
ISO40
ISO63
ISO100
ISO100
ISO100
轉(zhuǎn)速
0-2900 rpm
0-2900 rpm
0-2900 rpm
0-2900 rpm
0-2900 rpm
連續(xù)進(jìn)氣口工作壓力
0-1000 mbar/0-760 Torr
0-1000 mbar/0-760 Torr
0-1000 mbar/0-760 Torr
0-1000 mbar/0-760 Torr
0-1000 mbar/0-760 Torr
最大出口壓力
1000 mbar/760 Torr
1000 mbar/760 Torr
1000 mbar/760 Torr
1000 mbar/760 Torr
1000 mbar/760 Torr
推薦的前級泵
GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80
GV80,E2M80
GV160、GV250、
E2M80、E2M175
GV250、GV400、
E2M175、E2M275
GV400、E2M275
電機(jī)功率
碳?xì)浠衔?
2.2 kW / 3 hp
2.2 kW/3 hp
3 kW/4 hp
11 kW/15 hp
11 kW/15 hp
PFPE
1.5 kW / 2 hp
1.5 kW/2 hp
3 kW/4 hp
7.5 kW/10 hp
11 kW/15 hp
ATEX
2.2 kW
2.2 kW
3 kW
11 kW
11 kW
防爆
3 hp
3 hp
4 hp
15 hp
15 hp
規(guī)格 : EH4200 ;
外形尺寸 : 1 ;
極限壓力 : 1(pa) ;
功率 : 15(kw) ;
用途 : 真空鍍膜 ;
驅(qū)動方式 : 電動 ;
原理 : 羅茨泵 ;
材質(zhì) : 鑄鋼 ;
型號 : EH4200 ;
品牌 : 愛德華 ;
類型 : 氣體捕集泵 ;
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