奈米3D顯微形貌快速呈現(xiàn)，白光干涉儀SWIM1510MS


    SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測儀結(jié)合臺智公司(Carmar) 的相移垂直掃描的專利技術(shù)與顯微光干涉技術(shù)，不需要複雜光路調(diào)整程序，即可在非接觸、無破壞、普通大氣環(huán)境下完成3D奈米深度的表面檢測分析，不僅提供3D表面形狀和表面紋理的分析，更可提供鏡面表面的奈米級粗糙度和臺階高度分析， 並追溯至ISO國際規(guī)範(fàn)。

    SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測儀，具有極強(qiáng)的測量能力，可在幾秒內(nèi)就完成整個視場的掃描，得到測量樣品的3D圖形與高度數(shù)據(jù)，檢測速度與深度量測能力優(yōu)於逐點逐面掃描的

共焦掃描顯微鏡，3D圖形量測能力又優(yōu)於掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力，且不需要使用電子束或雷射，開機(jī)快又安全，維護(hù)成本更低。

    無論是拋光面，還是粗糙面，甚至是高透明材質(zhì)(例如石英)，只要有超過1%以上的反射率就能夠被檢測。 SWIM系列顯微檢測儀適合各種材料與微元件表面特徵和微尺寸檢測，應(yīng)用領(lǐng)域包含：
u 觸控面板(Touch Panel)
u太陽能板(Solar Cell)
u晶圓（Silicon Wafer or Sapphire Wafer）
u 光碟／硬碟（DVD Disk／Hard Disk）
u 微機(jī)電元件 （MEMS Components）
u 平面液晶顯示器（LCD）
u 高密度線路印刷電路板（ HDI  PCB ）
u IC封裝（ IC  Package）
u 精密微機(jī)械元件或模具（Micro Mechanical Parts or Mode）
u 以及其它材料分析與元件微表面研究。
相移垂直掃描專利技術(shù)，使深度解析度達(dá)0.1nm
SWIM系列顯微檢測儀提供Z軸掃描解析度0.1nm，平面空間分辨力0.5 um (50X物鏡)的量測能力，最高達(dá)12  um/s的垂直掃描速度，所具有的奈米3D顯微形貌快速呈現(xiàn)能力是科研、研發(fā)、生產(chǎn)品檢時所必備的工具。 
SWIM-M系列  (通用規(guī)格)
型號
SWIM-1510MS
SWIM-1510ME
SWIM-1510MZ
SWIM-2515MS
SWIM-2515ME
SWIM-2515MZ
SWIM-4030MS
SWIM-4030ME
SWIM-4030MZ
移動臺行程 (mm)
150 x 100
250 x 150
400 x 300
機(jī)臺尺寸 X/Y/Z (mm)
510 x 560 x 900
 570 x 670 x900
700 x 990 x 900
機(jī)臺重量 (kg)
145
150
296
載重
大於 10 kg
Z 軸移動範(fàn)圍
80 mm，手動粗調(diào)／細(xì)調(diào)
位置數(shù)位顯示單元
三軸光學(xué)尺與三軸電腦數(shù)位顯示 (解析度0.5 mm)
傾斜調(diào)整平臺
雙軸／手動
底座
花崗巖
高度測量
測量範(fàn)圍
100 mm  ( 400 mm, 選配)
量測解析度
0.1 nm
重覆精度(σ)  (1)
 
≦ 0.1 %    ( 量測高度： > 10 m m)
≦ 10 nm   ( 量測高度：1 m m ~ 10 m m)
≦   5 nm   ( 量測高度： <1 m m )
量測控制
自動
掃瞄速度 (mm ／s)
12 （最高）
光源
光源類型
儀器用鹵素(冷)光源
平均使用壽命
1000小時(100W)     500小時(150W)
光強(qiáng)度調(diào)整
自動 ／手動
資料處理與顯示用電腦
中央處理運算單元
雙核心以上CPU
影像與資料顯示螢?zāi)?
17” 液晶螢?zāi)?
存儲裝置
200 GB 以上硬碟機(jī)
作業(yè)系統(tǒng)
WindowsXP (2)
電源與環(huán)境要求
電源
AC110V ／220V ，50Hz ／60Hz
環(huán)境振動
VC-C等級以上
量測與分析軟體
量測軟體
ImgScan 量測軟體 :
具 VSI ／ PVSI ／PSI 量測模式 ( PSI量測模式需另選配PSI模組搭配)
分析軟體
PostTopo分析軟體：
 ISO 粗糙度/階高分析,快速傅利葉轉(zhuǎn)換和濾波, 多樣的 2D和 3D 觀測視角圖,外形／面積／體積分析, 圖像縮放, 標(biāo)準(zhǔn)影像檔案格式轉(zhuǎn)換, 報表輸出, 程序教導(dǎo)量測等。
 

用途 : 觸控面板 (Touch Panel) ;
最近工作距離 : 80 mm，手動粗調(diào)／細(xì)調(diào)（mm） ;
測量分辨率 : 0.1 nm ;
測量范圍 : 100 mm ;
品種 : 散斑干涉儀 ;
型號 : SWIM1510MS ;
品牌 : Rational/萬濠 ;
類型 : 白光干涉儀 ;
加工定制 : 否 ;