AE-100M 產(chǎn)品用途     結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復(fù)雜光調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn)，可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測(cè)量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測(cè)。應(yīng)用領(lǐng)域包含：玻璃鏡片、鍍膜表面、晶圓、光碟/影碟、精密微機(jī)電元件、平面液晶顯示器、高密度線路印刷電路板、IC封裝、材料分析與微表面研究等。 產(chǎn)品特點(diǎn)● 奈米深度3D檢測(cè)
● 高速/無(wú)接觸量
● 表面形狀/粗糙度分析
● 非透明/透明材質(zhì)皆適用
● 非電子束/非雷射的安全量測(cè)
● 低維護(hù)成本 專業(yè)級(jí)的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）●  提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析
●  提供自動(dòng)表面平整化處理功能
●  提供高階標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能
●  深度/高度分析功能提供線型分析與區(qū)域分析等兩種方式
●  線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Rorghness）與起伏度
●  （waviness）的測(cè)量分析?？商峁┒噙_(dá)17種的ISO量測(cè)參數(shù)與4種額外量測(cè)數(shù)據(jù)（Wafer）
●  區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計(jì)分析
●  具有平滑化、銳化與數(shù)字過(guò)濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換（FFT）處理功能
●  量測(cè)分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出 高速精密的干涉解析軟件(ImgScan)● 系統(tǒng)硬件搭配ImgScan前處理軟件自動(dòng)解析白光干涉條紋
● 垂直高度可達(dá)0.1nm
● 高度的分析算法則，讓你不在苦候測(cè)量結(jié)果
● 垂直掃描范圍的設(shè)定輕松又容易
● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇
● 平臺(tái)XYZ位置數(shù)顯示，使檢標(biāo)的尋找快速又便利
● 具有手動(dòng)/自動(dòng)光強(qiáng)度調(diào)整功能以取得最佳的干涉條紋對(duì)比
● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測(cè)量模式供選擇
● 具有專利的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌
● 具有自動(dòng)布補(bǔ)點(diǎn)功能
● 可自行設(shè)定掃描方向 技術(shù)規(guī)格參數(shù)型號(hào)AE-100M移動(dòng)臺(tái)(mm)平臺(tái)尺寸100*100 ，行程13*13物鏡放大倍率10X20X50X觀察與量測(cè)范圍0.43*0.320.21*0.160.088*0.066光學(xué)分辨力(um)0.90.690.5收光角度(Degrees)172333工作距離7.44.73.4傳感器分辨率640*480像素機(jī)臺(tái)重量(kg)/載重kg20kg/小于1kgZ軸移動(dòng)范圍45mm , 手動(dòng)細(xì)調(diào)Z軸位置數(shù)字顯示器分辨率1um傾斜調(diào)整平臺(tái)雙軸/手動(dòng)調(diào)整 高度測(cè)量測(cè)量范圍100（um)(400um ,選配)量測(cè)分辨力0.1mm重復(fù)精度≤ 0.1％ (量測(cè)高度:>10um)
≤10um(量測(cè)高度1um 10um)
≤ 5nm(量測(cè)高度:<1um )量測(cè)控制自動(dòng)掃描速度(um/s)12(最高) 光源光源類型儀器用鹵素（冷）光源平均使用壽命1000小時(shí)100W 500小時(shí)（150W）光強(qiáng)度調(diào)整自動(dòng)/手動(dòng) 數(shù)據(jù)處理與顯示用計(jì)算機(jī)中央處理運(yùn)算屏幕雙核心以上CUP影像與數(shù)據(jù)顯示屏幕17 "; 雙晶屏幕操作系統(tǒng)Windows XP(2)電源與環(huán)境要求AC100 --240 V 50-60Hz環(huán)境震動(dòng)VC-C等級(jí)以上 測(cè)量分析軟件量測(cè)軟件ImgScan具VSI/ PVS/PSI 量測(cè)模式（PSI量測(cè)模式需另選配PSI模塊搭配）分析軟件PosTopoISO 粗燥度/階高分析，快速傳利葉轉(zhuǎn)換和濾波，多樣的2D和3D
觀測(cè)視角圖，外形/面積/體積分析，圖像縮放、標(biāo)準(zhǔn)影像文件格式轉(zhuǎn)換
報(bào)表輸出，程序教導(dǎo)測(cè)量等。

傳感器分辨率 : 640*480像素 ;
光強(qiáng)度調(diào)整 : 手動(dòng)/自動(dòng) ;
重復(fù)精度 : （≤0.1%量測(cè)高度大于10μm ）（≤10nm量測(cè)高度1μm-10μm）（≤5nm 量測(cè)高度小于1 ;
用途 : 適合各種材料與微元件表面特征和微尺寸檢測(cè) ;
最近工作距離 : 3.4-7.4（mm） ;
測(cè)量分辨率 : 0.1MM ;
測(cè)量范圍 : 0.43*0.32 0.21*0.16 0.088*0.066 ;
品種 : 其他干涉儀 ;
型號(hào) : AE-100M ;
品牌 : Rational/萬(wàn)濠 ;
類型 : 白光干涉儀 ;
加工定制 : 否 ;

銷售服務(wù)項(xiàng)目: 日本“Mitutoyo三豐”投影機(jī)，工具顯微鏡，二次元測(cè)定機(jī)，各種卡尺，量具，測(cè)定儀器。 瑞士“TESA”，“TRIMOS”精密高度規(guī)，量具，測(cè)定儀器。 日本“AKASHI”各類精密硬度測(cè)定機(jī)，國(guó)產(chǎn)各類精密硬度測(cè)定機(jī)。 臺(tái)灣“萬(wàn)濠”精密非接觸工具顯微鏡，精密投影機(jī)，光學(xué)尺。 臺(tái)灣“順瀅”按鍵，開(kāi)關(guān)，荷重元及壽命自動(dòng)測(cè)試儀器，全自動(dòng)連接器插拔力測(cè)試機(jī)系列。 臺(tái)灣“精展”“亞青”各類精密磨床，銑床加工工具。 各種光學(xué)儀器，放大鏡，實(shí)體顯微鏡等。 各種光學(xué)儀器用燈泡，光源批發(fā)。 各種精密塊規(guī)批發(fā)，零售等。 各種規(guī)格精密花崗石平臺(tái)，鑄鐵平臺(tái)等平面用工具。 各種量具，儀器保養(yǎng)，維修服務(wù)。 以上儀器廣泛適用于電子、電器、五金、模具、導(dǎo)電硅橡膠、連接器等行業(yè)。