目前，1600度高溫管式爐，在中國微波法PECVD系統(tǒng)占據(jù)市場的主流，而管式PECVD系統(tǒng)也占據(jù)不少份額，而島津的板式系統(tǒng)只有5~6條生產(chǎn)線在使用。直流法PECVD系統(tǒng)還沒有進(jìn)入中國市場。

　　除了上述幾種模式的PECVD系統(tǒng)外，美國的Applied

Material公司還開發(fā)了磁控濺射PECVD系統(tǒng)，該系統(tǒng)使用磁控濺射源轟擊高純硅靶，在氨氣的氣氛中反應(yīng)濺射，形成SiNx分子沉積到樣品表面。這種技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是不使用易爆的硅烷氣，安全性提高很多，另外沉積速率很高。

如果按照PECVD系統(tǒng)所使用的頻率范圍，又可將其分成以下幾類：

　　■ 0 Hz：直流間接法——OTB公司

　　■ 40 KHz：Centrotherm公司管式直接法PECVD和Applied Material公司的磁控濺射系統(tǒng)

　　■ 250 kHz：島津公司的板式直接法系統(tǒng)

　　■ 440 kHz：Semco公司的板式直接法

　　■ 460 kHz：Centrotherm公司管式直接法

　　■ 13.6 MHz：Semco公司和MVSystem公司的板式直接法系統(tǒng)

　　■ 2450 MHz：Roth&Rau公司的板式間接法系統(tǒng)。

反應(yīng)室中的反應(yīng)是很復(fù)雜的，有很多必須考慮的因素，管式爐，沉積參數(shù)的變化范圍是很寬的：反應(yīng)室內(nèi)的壓力、晶片的溫度、氣體的流動(dòng)速率、氣體通過晶片的路程(如圖所示)、氣體的化學(xué)成份、一種氣體相對于另一種氣體的比率、反應(yīng)的中間產(chǎn)品起的作用、以及是否需要其它反應(yīng)室外的外部能量來源加速或誘發(fā)想得到的反應(yīng)等。額外能量來源諸如等離子體能量，當(dāng)然會(huì)產(chǎn)生一整套新變數(shù)，如離子與中性氣流的比率，管式爐真空，離子能和晶片上的射頻偏壓等。

然后，考慮沉積薄膜中的變數(shù)：如在整個(gè)晶片內(nèi)厚度的均勻性和在圖形上的覆蓋特性(后者指跨圖形臺(tái)階的覆蓋)，薄膜的化學(xué)配比(化學(xué)成份和分布狀態(tài))，結(jié)晶晶向和缺陷密度等。當(dāng)然，真空 管式爐，沉積速率也是一個(gè)重要的因素，因?yàn)樗鼪Q定著反應(yīng)室的產(chǎn)出量，高的沉積速率常常要和薄膜的高質(zhì)量折中考慮。反應(yīng)生成的膜不僅會(huì)沉積在晶片上，也會(huì)沉積在反應(yīng)室的其他部件上，對反應(yīng)室進(jìn)行清洗的次數(shù)和徹底程度也是很重要的。

河南熱科油脂工程技術(shù)有限公司是一家信譽(yù)為先的正規(guī)糧油機(jī)械制造有限公司，公司成立19年來，以完美機(jī)械品質(zhì)為糧油機(jī)械設(shè)備行業(yè)樹立了標(biāo)桿。 公司生產(chǎn)設(shè)備業(yè)務(wù)范圍進(jìn)行油脂設(shè)備場地設(shè)計(jì)、免費(fèi)為客戶場地進(jìn)行規(guī)劃設(shè)計(jì)，客戶到我公司進(jìn)行考察， 公司在火車站、飛機(jī)場均有專車接送，發(fā)生消費(fèi)費(fèi)用均由我公司進(jìn)行承擔(dān)報(bào)銷。 我公司以河南省糧油機(jī)械設(shè)計(jì)研究院為后盾，是集研發(fā)團(tuán)隊(duì)、生產(chǎn)團(tuán)隊(duì)、銷售、項(xiàng)目安裝團(tuán)隊(duì) 為一體的現(xiàn)代化發(fā)展公司，具有較強(qiáng)的綜合技術(shù)實(shí)力，憑借著現(xiàn)代的創(chuàng)意，嚴(yán)謹(jǐn)?shù)氖┕す芾砑跋冗M(jìn)的技 術(shù)和優(yōu)良品質(zhì)的材料，以“忠誠事業(yè)、服務(wù)敬業(yè)”為企業(yè)精神，近幾年來先后承接并完成了一系列油脂 工廠設(shè)備安裝案例?！　」驹O(shè)備先進(jìn)，資質(zhì)完備、管理制度完善，同時(shí)服務(wù)客戶涵蓋多個(gè)方面：油脂工程設(shè)計(jì)安裝，舊油 廠規(guī)劃改造安裝等等。公司的全國實(shí)際案例業(yè)績見證了企業(yè)的實(shí)力，大量的各地設(shè)備安裝經(jīng)驗(yàn)也造就了 一支工藝精湛，艱苦耐勞隊(duì)伍。 河南熱科油脂工程技術(shù)有限公司售后服務(wù)： 1. 專業(yè)工程師技術(shù)員負(fù)責(zé)設(shè)備的調(diào)試和現(xiàn)場指導(dǎo)，人次不限。 2. 我公司出售的產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)三包壹年，終身維修。 3. 對用戶在設(shè)備試用磨合期的技術(shù)和服務(wù)支持，到達(dá)用戶時(shí)間視路途而定。 4. 有完善的備件保證體系。 中達(dá)食用油設(shè)備專家優(yōu)勢： 1、我們公司有專業(yè)的場地規(guī)劃設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)，根據(jù)您的需要最近時(shí)間為您做好你所需要的場地規(guī)劃設(shè)計(jì)方案； 2、我們公司有專業(yè)的業(yè)務(wù)團(tuán)隊(duì)，最近時(shí)間為您報(bào)上所需設(shè)備報(bào)價(jià)； 3、我們公司有專業(yè)的安裝售后團(tuán)隊(duì)，幫助你解決生產(chǎn)中的各種難點(diǎn) 中達(dá)食用油設(shè)備專家科研實(shí)力雄厚，是業(yè)內(nèi)為數(shù)不多的具備自主研發(fā)能力的企業(yè)之一，科研團(tuán)隊(duì)涉及油脂工程、機(jī)械制造、工業(yè)自動(dòng)化、計(jì)算機(jī)等多個(gè)專業(yè)領(lǐng)域，企業(yè)的專利申請和擁有量與日俱增。 雖然取得了較大的成功，但我們沒有把過去取得的成績當(dāng)作資本，而是放眼未來，以獨(dú)特的經(jīng)營理念、精益求精的施工、角色換位的服務(wù)來律己，以誠實(shí)守信的態(tài)度與社會(huì)各界人士合作，創(chuàng)造出優(yōu)質(zhì)的 機(jī)械設(shè)備，為社會(huì)再添一道亮麗的風(fēng)景線！　 中達(dá)食用油設(shè)備專家承諾： 服務(wù)：只要一個(gè)電話，預(yù)約上門設(shè)計(jì)規(guī)劃場地，整理地基，報(bào)價(jià)，出設(shè)計(jì)場地方案； 消費(fèi)：簽訂合同后，只需付合同定金，公司發(fā)貨到場地后付剩余貨款，保障生產(chǎn)需要后技術(shù)員放可離場； 質(zhì)量：設(shè)備安裝調(diào)試完成后，機(jī)械設(shè)備保修一年，終身免費(fèi)維修；機(jī)器質(zhì)量不合格，全額退款； 施工：工程不發(fā)包，施工規(guī)范化，確保施工質(zhì)量，按國家標(biāo)準(zhǔn)。按標(biāo)準(zhǔn)分階段驗(yàn)收； 工藝：公司以一級的管理要求設(shè)計(jì)，施工，監(jiān)理各環(huán)節(jié)，以保證工藝效果； 環(huán)保：優(yōu)質(zhì)、環(huán)保、實(shí)用，是中達(dá)食用油設(shè)備專家的經(jīng)營理念，如果達(dá)不到國家標(biāo)準(zhǔn)，全額退款； 價(jià)格：透明報(bào)價(jià)， 機(jī)械設(shè)備設(shè)計(jì)規(guī)劃，設(shè)備報(bào)價(jià)單寫清配件型號、品牌。讓客戶明明白白消費(fèi)，高 高興興結(jié)算。 中達(dá)食用油設(shè)備專家操作流程 客戶資訊—>>規(guī)劃場地—>>設(shè)備報(bào)價(jià)—>>合同制定—>>付定金—>>公司備貨—>>付剩余貨款—>>裝 車發(fā)貨—>>安裝調(diào)試完成-售后維修。 專業(yè)油脂設(shè)備安裝調(diào)試維修，提供免費(fèi)設(shè)計(jì)規(guī)劃，讓您的舒心，安心，開心，保質(zhì)保量。 中達(dá)食用油設(shè)備專家宗旨 質(zhì)量是企業(yè)的血液，信譽(yù)是做人的根本！ 做更好的糧油機(jī)械公司，中達(dá)食用油專家以優(yōu)質(zhì)的服務(wù)，卓越的設(shè)備質(zhì)量服務(wù)于大眾， 我們用誠信打造糧油機(jī)械品牌