氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller)/氣體質(zhì)量流量計（Mass Flow Metre)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制，特別是對于微小質(zhì)量流量的測量和控制。D600系列數(shù)字型氣體質(zhì)量流量計/控制器精度高、重復(fù)性好、穩(wěn)定性高、工作壓力范圍寬，廣泛應(yīng)用于能源、電力、化工、醫(yī)療、半導(dǎo)體等各個領(lǐng)域。

【氣體流量計產(chǎn)品特點】
◆ 本地高清晰中文液晶顯示；
◆ 適用極低的流量，精確測量各種量程的流量，最低量程0~5 SCCM( 標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘）；
◆ 數(shù)字、模擬量輸入輸出；
◆ 可連接上位機軟件控制運行；
◆ 極低的零漂和溫漂；
◆ 多氣體、多量程、高精度，響應(yīng)時間短；
◆ 多種可量程可供選擇：
     流量規(guī)格（N2）： (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
      （0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100）SLM

【注】

SLM和SCCM都常常是氣體質(zhì)量流量單位。
SLM（Standard Liter per Minute）是表示每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升。
SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）是表示每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升。

【氣體質(zhì)量流量計參數(shù)】

產(chǎn)品名稱	 氣體質(zhì)量流量控制器,氣體質(zhì)量流量計
 適用介質(zhì)	 潔凈、干燥的氣體（不能含水汽、油）
 量程范圍（N2)	  (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM；
（0~1、2、3、5、10、20、30 、50、100）SLM
 公稱壓力	 0～10MPa
 環(huán)境溫度	 5～65℃
 測量精度	 ±1.0%
 響應(yīng)時間	  < 1秒
 殼體材質(zhì)	 不銹鋼；
 供電方式	 外供7～16VDC（帶電源適配器）；
 輸出信號	 4～20mA；0～5V；RS232/RS485
 差壓范圍	 0.05～0.3MPa；
 表頭顯示	 累積流量；瞬時流量；工作模式；閥控狀態(tài)
 連接方式	 卡套連接Φ3,Φ6,Φ8,Φ10


【氣體質(zhì)量流量計原理】

氣體質(zhì)量流量計由質(zhì)量流量計傳感器、分流器通道、流量控制調(diào)節(jié)閥、放大控制電路組成。被測氣體分成兩個層流區(qū)，一個通過主流量管道，另一個通過毛細管。獨特的設(shè)計確保兩個管路里的流體都是層流狀態(tài)，因此兩個管路的流量比是恒定的。工作時，毛細管上兩個精確的溫度感應(yīng)繞組被加熱，當(dāng)有流量時，被加熱的氣體從上游到下游流動，在兩個感應(yīng)繞組之間產(chǎn)生了溫差，溫差與電阻的變化成比例關(guān)系。

用惠斯頓電橋來測量溫度感應(yīng)繞組的溫度變化差值。惠斯頓電橋的輸出通過ADC(模數(shù)轉(zhuǎn)換)轉(zhuǎn)換成12位的數(shù)字信號。

微處理器和非易失性存儲器存儲了所有的標(biāo)定數(shù)據(jù)，直接控制操作比例電磁閥。這個數(shù)字閉環(huán)控制系統(tǒng)不斷的比較當(dāng)前的流量值與設(shè)定值，如果與設(shè)定值偏離，通過調(diào)整閥門進行修正，PID算法運算實現(xiàn)高精確度的控制。根據(jù)被測氣體的流量大小輸出0…5VDC或者4…20mA信號。



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