多晶硅,是單質(zhì)硅的一種形態(tài)。熔融的單質(zhì)硅在過冷條件下凝固時(shí),硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核,如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,則這些晶粒結(jié)合起來,就結(jié)晶成多晶硅。多晶硅生產(chǎn)過程中主要危險(xiǎn)、有害物質(zhì)中氯氣、氫氣、三氯氫硅、氯化氫等主要危險(xiǎn)特性有:氮?dú)猓喝粲龈邿?,容器?nèi)壓增大。有開裂和爆炸的危險(xiǎn)。氟化氫:腐蝕性極強(qiáng)。若遇高熱,云南多晶硅,容器內(nèi)壓增大,有開裂和爆炸的危險(xiǎn)。氫氧化鈉:該品不燃,回收多晶硅廢切片,具強(qiáng)腐蝕性、強(qiáng)刺激性,可致人體灼傷。
硅烷法是將硅烷通入以多晶硅晶種作為流化顆粒的流化床中,回收多晶硅碎料,是硅烷裂解并在晶種上沉積,從而得到顆粒狀多晶硅。硅化鎂法是用Mg2Si與NH4Cl在液氨中反應(yīng)生成硅烷?,F(xiàn)代硅烷的制備采用歧化法,回收多晶硅頭尾料,即以冶金級(jí)硅與SiCl4為原料合成硅烷,首先用SiCl4、Si和H2反應(yīng)生成SiHCl3 ,然后SiHCl3 歧化反應(yīng)生成SiH2Cl2,最后由SiH2Cl2 進(jìn)行催化歧化反應(yīng)生成SiH4 ,即:3SiCl4+ Si+ 2H2= 4SiHCl3,2SiHCl3= SiH2Cl2+ SiCl4,3SiH2Cl2=SiH4+ 2SiHCl3。
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