振動(dòng)電機(jī)加工技術(shù)即振動(dòng)電機(jī)的表面和立體的微細(xì)加工,是指在以硅為主要材料的基片土進(jìn)行沉積、光刻與脯蝕的工藝過程。振動(dòng)電機(jī)加工技術(shù)使得MEMS的制作具有低成本、大批量生產(chǎn)的潛力。它可以分為光刻加工、表面微機(jī)械加工技術(shù)兩種:
(1)光刻加工是用照相復(fù)印的方法將光刻掩模上的圈形印制在涂有光致抗蝕劑(光刻膠)的薄膜或基材表面,然后進(jìn)行選擇性腐蝕,刻蝕出規(guī)定的圖形。所用的基材有各種金屬、振動(dòng)電機(jī)和介質(zhì)材料。光致抗蝕劑是一類經(jīng)光照后能發(fā)生交聯(lián)、分解或聚合等化學(xué)反應(yīng)的高分子溶禳。光刻工藝的基本過程通常包括涂腔、曝光、顯影、堅(jiān)膜、腐蝕、去膠等步驟。光刻質(zhì)量與光致抗蝕劑種類、光刻工藝及掩模版質(zhì)量直接相關(guān)。對(duì)硅片進(jìn)行加工的技術(shù),一般用各向同性化學(xué)腐蝕、各向異性化學(xué)腐蝕和電化學(xué)腐蝕。
(2)表面微機(jī)械加工技術(shù)是在硅表面根據(jù)需要可生長多層薄膜,0.25KW振動(dòng)電機(jī),如二氧化硅,振動(dòng)電機(jī),多晶磚,氮化硅’磷硅玻璃膜層,采用選擇性腐蝕技術(shù),0.2KW振動(dòng)電機(jī),去除部分不需要的膜層,在硅平面上形成所需要的形狀,甚至是可動(dòng)部件,0.22KW振動(dòng)電機(jī),去除的部分膜層一般稱為犧牲層,整個(gè)加工過程都在能等來實(shí)現(xiàn)對(duì)零件材料的加工的;
(3)特種加工用的工具材料硬度可以低于被加工工件材料的硬度,甚至不用加工工具;(4)特種加工過程中工具與工件之間不存在明顯的機(jī)械切削力。
所以就總體而言,特種加工可以加工任何硬度、強(qiáng)度、韌度、脆性的金屬或非金屬材料,且專長于加工復(fù)雜、微細(xì)表面和低剛度零件。
(5)電火花加工的特點(diǎn)電火花加工的特點(diǎn)是:①可加工任何導(dǎo)電材料②適用于加工特殊及形狀復(fù)雜的零件;@脈沖參數(shù)可調(diào)、加工范圍大,在一臺(tái)機(jī)床上可以連續(xù)進(jìn)行粗、精加工。
振打電機(jī)原理:
振打電機(jī)是在轉(zhuǎn)子軸兩端各安裝兩塊可調(diào)偏心塊,利用軸及偏心塊高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力得到激振力。振打電機(jī)的激振力利用率高、能耗小、噪音低、壽命長,安裝使用方便,激振力可以無級(jí)調(diào)節(jié)。
振打電機(jī)安裝:
振打電機(jī)一般是在料倉對(duì)應(yīng)面水平相差50mm各安裝一臺(tái)振打電機(jī),以免形成區(qū)域共振現(xiàn)象,影響物料流通。
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