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    晶圓酸洗機,常州晶圓,蘇州晶淼半導體 查看

  • 作者:蘇州晶淼半導體設備有限公司 2016-12-04 21:12 860
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    硅料清洗機設備

    現(xiàn)在產業(yè)的不斷擴大使得硅料的需求量急劇增高,硅料在運用也加大了硅料清洗的需求,常州晶圓,但是這種材料需要專門的硅料清洗機來對其進行清洗。那么同時對硅料清洗機的需求量也增大了不少。但是不是說所有的硅料清洗機都是好的,他也是有許多的清洗方法的。

    很多企業(yè)開發(fā)并生產硅料清洗機,所以目前市面上有多種用于太陽能硅料清洗的工藝,比如超聲清洗法、RCA標準清洗、兆聲清洗法、高壓噴射法、離心噴射法、等離子清洗、氣相清洗、激光束清洗等等,形成了百花齊放的勢態(tài)。使用何種清洗工藝方法,需要根據(jù)不同客戶不同硅片上的表面狀態(tài)、潔凈度、污染情況等進行選擇。據(jù)業(yè)內反饋,在眾多的清洗方法中,硅料清洗機使用較多的是超聲波清洗法與RCA標準清洗法。


    影響超聲清洗效果的其它因素

    被清洗件的聲學特性和在清洗槽中的排列對清洗效果也有較大的影響,吸聲大的清洗對象,如橡膠,布料等清洗效果差,而對聲反射強的清洗件,如金屬件,晶圓酸洗機,玻璃制品的清洗效果好。清洗件面積小的一面應朝聲源排放,排列要有一定的間距;清洗件不能直接放在清洗槽底部;尤其是較重的清洗件,以免影槽底板的振動,也避免清洗件擦傷底板而加速空化腐蝕。清洗件*好是懸掛在槽中,或用金屬羅筐盛好懸掛.但須注意要用金屬絲做成.并盡可能用細絲做咸空格較大的筐,以減少聲的吸收和屏蔽。

    清洗液的流動速度對超聲清洗效果也有很大影響,*好是在清洗過程中液體靜止不流動,這時泡的生長和閉合運動能夠充分完成。如果清洗液的流速過快,則有些空化核會被流動的液體帶走有些空化核則在沒有達到生長閉合運動整過程時就離開聲場,因而使總的空化 強度降低。在實際清洗過程中有時為避免污物重新粘附在清洗件上.清洗液需要不斷流動更新,此時應注意清洗液的流動速度不能過快,晶圓酸洗臺,以免降低清洗效果。


    主要清洗參數(shù)為:

    1、材質:槽體為全不銹鋼制作,耐酸耐堿,外形美觀大方。

    2、機型:可根據(jù)客戶要求加工定制。

    3、功率、頻率:可調,采用獨特的超聲波發(fā)生器,晶圓清洗機,能量轉換率高。

    4、溫控:常溫0-110℃可調。

    5、支架可根據(jù)要求和實際需要定制。

    主要清洗參數(shù)為:1、材質:槽體為全不銹鋼制作,耐酸耐堿,外形美觀大方。2、機型:可根據(jù)客戶要求加工定制。3、功率、頻率:可調,采用獨特的超聲波發(fā)生器,能量轉換率高。4、溫控:常溫0-110℃可調。5、支架可根據(jù)要求和實際需要定制。


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