本工藝有40支至240支充有特殊氣體的無極管組成的低溫等離子體激發(fā)區(qū),低溫等離子體區(qū)是工藝的核心技術,國外諸多科研機構室稱在常壓下實現低溫等離子體。
從大量的試驗分析,常壓低溫等離子體要在工業(yè)中應用存在的困難仍舊很大,本工藝借助低氣壓的無極燈作為低溫等離子體的激發(fā)體,最大限度地在無極管區(qū)實現低溫等離子體區(qū),由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有極強的能量平衡性,在粒子撞擊中失能極少,所以低溫等離子體作為原子激發(fā)是最理想的一種能。在實踐應用中,最大的科題在于低氣壓究竟是多少帕?管內充什么樣的氣體最有經濟價值?這沒有理論模型可言,只有通過實踐、實驗、分析。
極板區(qū)
根據被處理氣體的流量,極板間的電壓分12KV、16KV至42KV,極板間加以足夠高的電壓,在引風的作用下,極區(qū)由于負壓的作用,按照法拉第暗區(qū)理論、光致電離理論、自由離理論,在常壓或接近常壓的條件下有相當概率的粒子可能實現低溫等離子體。