YWRTP-101405快速退火爐由我公司自主研發(fā)的功能強(qiáng)大的加熱設(shè)備。該產(chǎn)品采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體和爐管可以自由滑動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸130MM，可以直接放下5英寸的材料。試樣反應(yīng)區(qū)處在一個(gè)密閉的石英腔體內(nèi)，在完成生產(chǎn)工藝的同時(shí)，也大大降低了間接污染試樣的可能性。廣泛用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域，可滿足離子注入后的快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火，氧化物生長(zhǎng)以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場(chǎng)合。
主要功能和特點(diǎn)：
1、可視化7寸觸摸屏，設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面，操作方便；
2、爐體配備高精度移動(dòng)平臺(tái)，運(yùn)行平穩(wěn)無(wú)抖動(dòng)；
3、爐管可自由移動(dòng)，且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接，放、取物料方便快捷，避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能；減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能；
4、爐體爐管可左右移動(dòng)，當(dāng)爐管移出爐膛時(shí)冷確風(fēng)扇啟動(dòng)，可實(shí)現(xiàn)試樣的迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)要求；
5、爐膛采用進(jìn)口多晶纖維真空吸附制成，采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱，使用壽命可達(dá)5000小時(shí)，升溫速度快，最高溫度可達(dá)1050℃。
6、預(yù)留了真空、氣路快速接口，可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用；
7、預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口，可通過(guò)我司專用軟件，與計(jì)算機(jī)互聯(lián)，可實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或者多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能；
8、可內(nèi)置熱電偶，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)加熱物料溫度。
9、設(shè)置超溫報(bào)警并斷電，漏電保護(hù)，操作安全可靠。
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號(hào)	YWRTP-101405
爐體結(jié)構(gòu)	雙層殼體結(jié)構(gòu)，高精度移動(dòng)平臺(tái)
爐膛材質(zhì)	日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好
爐管材質(zhì)	高純石英管；Φ140*500mm，有效試樣空間：5英寸
密封法蘭	不銹鋼快速擠壓密封法蘭
溫控系統(tǒng)	溫度控制系統(tǒng)采用觸摸屏操作，人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能，并可編制30段升降溫程序；控溫精度±1℃
顯示模式	液晶觸摸屏顯示
加熱元件	進(jìn)口紅外燈管
測(cè)溫元件	N型熱電偶
使用溫度	最高溫度1050℃，連續(xù)工作溫度≤1000℃
升溫速度	推薦≤20℃/ sec，最快升溫速度200℃/sec
降溫速度	200℃以上≤25min 
恒溫區(qū)	加熱區(qū)長(zhǎng)度200mm，恒溫區(qū)50mm(±2℃)；80㎜(±3℃) 
尺寸和重量	設(shè)備： 610*1150*550mm （深*寬*高）； 凈重 85kg
機(jī)器電源	AC220V，50/60Hz；額定功率15kw
可選真空	≤50Pa（常規(guī)機(jī)械泵+指針壓力表）
≤10Pa（高配機(jī)械泵+數(shù)顯壓力表）
可選混氣	多通道浮子、質(zhì)量混氣系統(tǒng)
標(biāo)準(zhǔn)配置	爐體、爐管、法蘭
選購(gòu)件	爐架，各種石英、剛玉坩堝，石英管，高溫手套，計(jì)算機(jī)控制軟件等。

上海煜志機(jī)電設(shè)備有限公司是一家專注于新材料、新能源全套設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)銷售一體的高科技企業(yè)，公司提供從“研磨、分散、混合、均質(zhì)、乳化——干燥——成型——高溫?zé)Y(jié)——切磨拋——測(cè)試”一條龍服務(wù)，為你的材料實(shí)驗(yàn)室量身定制全面的解決方案，同時(shí)我們可根據(jù)您的工藝要求，將您的科研成果同步放大，真正實(shí)現(xiàn)實(shí)驗(yàn)室到批量生產(chǎn)的無(wú)縫對(duì)接。公司擁有多名高級(jí)顧問(wèn)，均來(lái)自國(guó)內(nèi)外頂級(jí)科研單位和高等學(xué)府，其中材料方向3人，化工方向2人，新能源方向1人，機(jī)械自動(dòng)化方向2人，為公司的發(fā)展有效的提供了智力支持和技術(shù)保障。
公司主要產(chǎn)品有：研磨、混合、分散設(shè)備（球磨機(jī)、破碎機(jī)、真空均質(zhì)乳化機(jī)、超高壓均質(zhì)機(jī)）；干燥設(shè)備（冷凍干燥機(jī)、噴霧干燥機(jī)、真空干燥機(jī)、流化床干燥機(jī)）；成型設(shè)備（壓片機(jī)等）；高溫?zé)Y(jié)設(shè)備（箱式爐、管式爐、CVD系統(tǒng)、真空燒結(jié)爐、及各種非標(biāo)加熱爐）；切、磨、拋設(shè)備（切割機(jī)、研磨機(jī)、拋光機(jī)）；測(cè)試設(shè)備（硬度計(jì)、金相設(shè)備、顯微鏡等）。新材料、新能源整套解決方案有：石墨烯、碳納米管批量生產(chǎn)線；新型熔鹽制備、加料及物性分析系統(tǒng)。
公司坐落在上海市嘉定工業(yè)園區(qū)，占地面積超10畝，交通便利，沈海高速朱橋出口即到。“致力創(chuàng)新、助力科研”，我們?cè)笧樾虏牧?、新能源的發(fā)展做出我們一點(diǎn)微薄的貢獻(xiàn)。
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