美國提出的工業(yè)機器人有以下特征:

機器人可以接受示教而完成各種簡單的重復(fù)動作，示教過程中，機械手可依次通過工作任務(wù)的各個位置，這些位置序列全部記錄在存儲器內(nèi)，工業(yè)機器人 原理，任務(wù)的執(zhí)行過程中，國內(nèi)工業(yè)機器人應(yīng)用，機器人的各個關(guān)節(jié)在伺服驅(qū)動下依次再現(xiàn)上述位置，故這種機器人的主要技術(shù)功能被稱為“可編程”和“示教再現(xiàn)”。

1962年，美國推出的一些工業(yè)機器人的控制方式與數(shù)控機床大致相似，但外形主要由類似人的手和臂組成。后來，出現(xiàn)了具有視覺傳感器的、能識別與定位的工業(yè)機器人系統(tǒng)。

潔凈機器人潔凈機器人是一種在潔凈環(huán)境中使用的工業(yè)機器人。

隨著生產(chǎn)技術(shù)水平不斷提高，其對生產(chǎn)環(huán)境的要求也日益苛刻，很多現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)都要求在潔凈環(huán)境進行，工業(yè)機器人，潔凈機器人是潔凈環(huán)境下生產(chǎn)需要的關(guān)鍵設(shè)備。

關(guān)鍵技術(shù)包括：

(1)潔凈潤滑技術(shù)：通過采用負壓抑塵結(jié)構(gòu)和非揮發(fā)性潤滑脂，實現(xiàn)對環(huán)境無顆粒污染，滿足潔凈要求。

(2)高速平穩(wěn)控制技術(shù)：通過軌跡優(yōu)化和提高關(guān)節(jié)伺服性能，實現(xiàn)潔凈搬運的平穩(wěn)性。

(3)控制器的小型化技術(shù)：根據(jù)潔凈室建造和運營成本高，工業(yè)機器人控制系統(tǒng)，通過控制器小型化技術(shù)減小潔凈機器人的占用空間。

(4)晶圓檢測技術(shù)：通過光學傳感器，能夠通過機器人的掃描，獲得卡匣中晶圓有**片、傾斜等信息。

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