采用閉管擴(kuò)散的方式。碳化硅漿把石英舟放入石英管后再退出石英管，保證整個(gè)工藝過(guò)程完全不受外界環(huán)境干擾。系統(tǒng)整機(jī)清潔降低了石英制品清洗的頻次?？刂平K端采用專(zhuān)業(yè)工控機(jī)配備進(jìn)口溫控儀表、質(zhì)量流量計(jì)及完善的報(bào)警功能。超長(zhǎng)恒溫區(qū)，超大裝片量。

青島賽瑞達(dá)電子裝備股份有限公司于2005年成立，是集開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售為一體的專(zhuān)業(yè)半導(dǎo)體工藝設(shè)備生產(chǎn)廠家，公司于2005年通過(guò)了ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證，是中國(guó)電子工業(yè)基礎(chǔ)裝備的重點(diǎn)骨干企業(yè)，屬于國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、中國(guó)電子專(zhuān)用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)會(huì)員單位、國(guó)家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟會(huì)員單位、中國(guó)產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟常務(wù)理事單位，先后被評(píng)為中國(guó)十強(qiáng)最具成長(zhǎng)性半導(dǎo)體企業(yè)、青島市最具成長(zhǎng)性企業(yè)、青島市創(chuàng)業(yè)明星企業(yè)、青島市標(biāo)準(zhǔn)良好化AA級(jí)示范單位、青島市創(chuàng)新型企業(yè)、青島市優(yōu)秀企業(yè)、青島名牌和山東名牌；公司于2012年6月完成股份改制，現(xiàn)有生產(chǎn)用地100畝，建筑面積4萬(wàn)余平方米，注冊(cè)資本3100萬(wàn)元。公司主要產(chǎn)品有：半導(dǎo)體技術(shù)專(zhuān)用工藝設(shè)備，電子元器件專(zhuān)用工藝設(shè)備，集成電路工藝設(shè)備，太陽(yáng)能電池片專(zhuān)用工藝設(shè)備，LED工藝設(shè)備，砷化鎵工藝設(shè)備，納米材料工藝設(shè)備，磁性材料工藝設(shè)備，航空航天及國(guó)家軍工單位專(zhuān)用的工藝設(shè)備，產(chǎn)品種類(lèi)多達(dá)兩百多個(gè)，各種專(zhuān)利及著作權(quán)近百項(xiàng)。賽瑞達(dá)公司技術(shù)力量雄厚，各類(lèi)專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員齊全，具有自主研發(fā)、設(shè)計(jì)和生產(chǎn)各種產(chǎn)品的能力。公司始終堅(jiān)持“質(zhì)量是企業(yè)的生命，誠(chéng)信是立足的根本，服務(wù)是發(fā)展的保障，不斷創(chuàng)新是賽瑞達(dá)永恒的追求”的經(jīng)營(yíng)理念，通過(guò)全體員工的不懈奮斗公司已成長(zhǎng)為國(guó)內(nèi)綜合實(shí)力最強(qiáng)的半導(dǎo)體工藝裝備制造企業(yè)，技術(shù)水平已達(dá)到國(guó)際一流水準(zhǔn)，產(chǎn)品覆蓋全國(guó)31個(gè)省、市、自治區(qū)、直轄市，并出口到美國(guó)、歐洲、亞洲等數(shù)個(gè)國(guó)家和地區(qū)。