真空步進電機運動平臺：

北京星微自動化科技有限公司代理英國AML真空步進電機位移臺，真空電機滑臺，真空步進電機運動平臺，真空電機直線平臺，真空防輻射步進電機位移臺，真空步進電機直線平臺，真空直線平臺，真空絲杠平臺，真空步進電機絲桿平臺，真空防輻射平臺，真空步進電機防輻射平臺，真空高低溫平臺的真空度可以達到1x10-8Pa,行程可達到250mm,精度可達0.1um,烘烤溫度可達200℃,防輻射可以到10*6Gy,也可以定制真空電機平臺，可以定制固體潤滑。

• 行程： 50 to 250mm；

• 分別率：1um/步；

• 無回滯，剛性強；

• 承載能力：20kg；

• 可堆疊 XYZ三軸平臺

• 真空：1 x 10-10 mBar；

• 烘烤溫：200°C；

• 交叉滾子軸承；

• 防輻射： 1 x 106 Gy ；

• 可以根據(jù)客戶要求定制；

• 規(guī)格	單位	LTVL	LTVH
  行程	mm	50/ 100 / 150 /200 /250	50/ 100 / 150 /200 /250
  整步分別率	μm	5	1
  velocity	mm/s	15	4
  推薦真空環(huán)境中速度	mm/s	2	0.8
  重復定位精度	μm	1	0.2
  水平負載能力	kg	20	20
  負載力矩	Nm	<5	<5
  軸向力 @ 500Hz Iφ = 1A	kg	3	10
  間隙	μm	0	0
  轉(zhuǎn)動, 俯仰 & 偏載 (無負載	μrad	<25	<25
  Roll Compliance	μrad/Nm	33	33
  Pitch & Yaw Compliance	μrad/Nm	33	33
  直線	μm	<1.3μm / 100mm	<1.3μm / 100mm
  使用步進電機		D35.1	D35.1
  真空	mBar	1 x 10-10	1 x 10-10
  temperature	°C	200	200
  MTBF (5kg負載和30%占空比)	hrs	15,000	10,000

北京星微自動化科技有限公司,主營業(yè)務包含：真空電機、真空步進電機、音圈電機、直流力矩電機、真空防輻射步進電機、真空步進電機絲杠平臺、真空防輻射電機平臺、電離真空計、真空步進電機滑臺、代理上海鳴志步進電機及絲杠平臺。面向國內(nèi)外的半導體、光學、印刷、超精密檢測、核工業(yè)、航天航空等行業(yè)，為其提供整機裝備、運動控制系統(tǒng)、關(guān)鍵零部件的定制化服務的創(chuàng)新型科技公司。