采用閉管擴散的方式。碳化硅漿把石英舟放入石英管后再退出石英管，保證整個工藝過程完全不受外界環(huán)境干擾。系統(tǒng)整機清潔降低了石英制品清洗的頻次?？刂平K端采用專業(yè)工控機配備進口溫控儀表、質(zhì)量流量計及完善的報警功能。超長恒溫區(qū)，超大裝片量。

青島賽瑞達電子裝備股份有限公司于2005年成立，是集開發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的專業(yè)半導(dǎo)體工藝設(shè)備生產(chǎn)廠家，公司于2005年通過了ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證，是中國電子工業(yè)基礎(chǔ)裝備的重點骨干企業(yè)，屬于國家高新技術(shù)企業(yè)、中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會會員單位、國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟會員單位、中國產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟常務(wù)理事單位，先后被評為中國十強最具成長性半導(dǎo)體企業(yè)、青島市最具成長性企業(yè)、青島市創(chuàng)業(yè)明星企業(yè)、青島市標(biāo)準(zhǔn)良好化AA級示范單位、青島市創(chuàng)新型企業(yè)、青島市優(yōu)秀企業(yè)、青島名牌和山東名牌；公司于2012年6月完成股份改制，現(xiàn)有生產(chǎn)用地100畝，建筑面積4萬余平方米，注冊資本3100萬元。公司主要產(chǎn)品有：半導(dǎo)體技術(shù)專用工藝設(shè)備，電子元器件專用工藝設(shè)備，集成電路工藝設(shè)備，太陽能電池片專用工藝設(shè)備，LED工藝設(shè)備，砷化鎵工藝設(shè)備，納米材料工藝設(shè)備，磁性材料工藝設(shè)備，航空航天及國家軍工單位專用的工藝設(shè)備，產(chǎn)品種類多達兩百多個，各種專利及著作權(quán)近百項。賽瑞達公司技術(shù)力量雄厚，各類專業(yè)技術(shù)人員齊全，具有自主研發(fā)、設(shè)計和生產(chǎn)各種產(chǎn)品的能力。公司始終堅持“質(zhì)量是企業(yè)的生命，誠信是立足的根本，服務(wù)是發(fā)展的保障，不斷創(chuàng)新是賽瑞達永恒的追求”的經(jīng)營理念，通過全體員工的不懈奮斗公司已成長為國內(nèi)綜合實力最強的半導(dǎo)體工藝裝備制造企業(yè)，技術(shù)水平已達到國際一流水準(zhǔn)，產(chǎn)品覆蓋全國31個省、市、自治區(qū)、直轄市，并出口到美國、歐洲、亞洲等數(shù)個國家和地區(qū)。