渦旋真空泵的工作腔是由一對型線共軛的渦旋盤付嚙合安裝組成。渦旋盤就是在盤面開有一個或幾個漸開線螺旋槽的渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交錯組裝在一起，動、靜盤之間由防自轉(zhuǎn)機構(gòu)保證180°相位差，這樣組成的一對渦旋盤副構(gòu)成了無油渦旋真空泵的抽氣機構(gòu)。靜渦旋盤與動渦旋盤彼此之間在幾條直線(在橫截面上是幾個點)上接觸形成幾對月牙形封閉腔，動渦旋盤在曲軸的驅(qū)動下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運動，接觸點沿渦旋曲面移動實現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣。曲軸每轉(zhuǎn)一圈，就有一組新的月牙封閉腔形成，所以渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)在電機的帶動下被連續(xù)重復(fù),對被抽氣體形成包容和強制輸送。

2、渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)特點

渦旋真空泵主要由5 個部件組成：

（1）動靜渦旋盤副與基座；一個或幾個漸開線螺旋形成的一個渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交錯, 兩者之間保證180°相位差組成的一對渦旋盤副機構(gòu)。

（2）曲軸：保證動渦旋盤繞靜渦旋盤轉(zhuǎn)動的偏心機構(gòu)。

（3）密封件：保證動、靜盤的端面齒頂密封等的密封裝置。

（4） 防自轉(zhuǎn)機構(gòu)：保證動、靜盤180°相位差的機構(gòu)。

（5）電機：輸出約1500r/min的動力機構(gòu)。

它的主要運動件只有一個動渦旋盤，因而動力傳遞簡單，相同尺寸下運動半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、整機尺寸小，動、靜渦旋盤之間、動盤與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運動件與泵腔無摩擦，所以幾乎無磨損，運行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動損失小，工作可靠性高、壽命長，易于維修，維修費用低，容積效率高。采用空氣冷卻，無需水冷。

渦旋真空泵具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)具有穩(wěn)定的抽速，由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動扭矩變化小，功率變化小,振動噪聲低，這是其它類型的干式真空泵所不具備的。

3、渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域

渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備。科學(xué)儀器行業(yè)：同步輻射光束線機、電子顯微鏡、極光試驗設(shè)備、分析測試儀器。機械設(shè)備行業(yè)：材料制備設(shè)備、真空檢測、材料提純設(shè)備、超高真空排氣設(shè)備。醫(yī)療設(shè)備行業(yè)：牙科儀器、透析機、生物制備與藥品制備。包裝行業(yè)：食品、藥品、生物制品包裝設(shè)備等領(lǐng)域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級泵是獲得無油真空系統(tǒng)的最佳配置。

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