全自動(dòng)光刻版(掩膜版)清洗機(jī),用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中光刻版自動(dòng)清洗、及干燥工藝。該設(shè)備可有效*光刻版在使用過(guò)程中表面粘附的殘膠、油污、顆粒等污染,大大改善光刻工藝效果。
北京半導(dǎo)體**設(shè)備*()創(chuàng)立于1958年,是國(guó)內(nèi)專門從事電子元器件關(guān)鍵工藝設(shè)備技術(shù)、設(shè)備整機(jī)系統(tǒng)以及設(shè)備應(yīng)用工藝研究開發(fā)和生產(chǎn)制造的地區(qū)**科研生產(chǎn)單位。45所以光學(xué)細(xì)微加工和精密機(jī)械與系統(tǒng)自動(dòng)化為**方向,以機(jī)器視覺技術(shù)、運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)、精密運(yùn)動(dòng)工作臺(tái)與物料傳輸系統(tǒng)技術(shù)、精密零部件設(shè)計(jì)優(yōu)化與*制造技術(shù)、設(shè)備應(yīng)用工藝研究與物化技術(shù)、整機(jī)系統(tǒng)集成技術(shù)等六大共性關(guān)鍵技術(shù)為支撐,圍繞集成電路制造設(shè)備、半導(dǎo)體照明器件制造設(shè)備、光伏電池制造設(shè)備、光電組件制造和系統(tǒng)集成與服務(wù)等五個(gè)**技術(shù)領(lǐng)域,開發(fā)出了電子材料加工設(shè)備、芯片制造設(shè)備、光/聲/電檢測(cè)設(shè)備、化學(xué)處理設(shè)備、**封裝設(shè)備、電子圖形印刷設(shè)備、晶體元器件和光伏電池等八大類工藝設(shè)備和產(chǎn)品,服務(wù)于集成電路、光電元器件與組件、半導(dǎo)體照明和太陽(yáng)能光伏電池四大行業(yè)。經(jīng)過(guò)多年的技術(shù)積累,特別是“十一五”以來(lái)的技術(shù)進(jìn)步與**,45所已經(jīng)掌握了**設(shè)備的自身規(guī)律和特點(diǎn)、**設(shè)備開發(fā)與制造的基本思想和路徑,克服了六大共性關(guān)鍵技術(shù),形成了十多種市場(chǎng)前景良好且擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品,培養(yǎng)出了一支掌握正向系統(tǒng)設(shè)計(jì)思想與方法、理論水平高實(shí)際經(jīng)驗(yàn)豐富、團(tuán)隊(duì)精神好、特別能戰(zhàn)斗的科研、生產(chǎn)、市場(chǎng)開發(fā)和經(jīng)營(yíng)管理隊(duì)伍,建成了較為完善的科研開發(fā)、工藝試驗(yàn)和生產(chǎn)制造平臺(tái)?!笆濉逼陂g,45所將在地區(qū)有關(guān)部委、北京市和亦莊開發(fā)區(qū)的支持幫助下,在集團(tuán)公司的直接**下,繼續(xù)堅(jiān)持推進(jìn)人才興所、**技術(shù)擁有、做實(shí)做精做強(qiáng)做大、系統(tǒng)服務(wù)和軍民互動(dòng)六大戰(zhàn)略,不斷提升特殊定制與****、自主**、系統(tǒng)集成與服務(wù)三種能力,實(shí)現(xiàn)材料加工設(shè)備、化學(xué)處理設(shè)備、光刻設(shè)備、平坦化設(shè)備、**封裝設(shè)備和電子圖形印刷設(shè)備產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)制造,替代進(jìn)口,批量化走向世界。