產(chǎn)品詳細(xì)介紹:
該設(shè)備可劃線,可切片,切割速度提升20%,減少了GPP生產(chǎn)中掩膜、蝕刻兩道工序,并且優(yōu)化了劃片精度。
可應(yīng)用于:集成電路晶圓,GPP二極管晶圓,GPP可控晶圓
產(chǎn)品特點(diǎn):
簡(jiǎn)化生產(chǎn)流程,降低生產(chǎn)成本
速度快,效率高,零破片率
非機(jī)械加工,無機(jī)械應(yīng)力,提高芯片質(zhì)量
CCD快速定位功能
高精度的直線運(yùn)動(dòng)平臺(tái),高精度DD旋轉(zhuǎn)平臺(tái)
大理石基座,穩(wěn)定可靠,熱變形小
精密數(shù)控系統(tǒng)
全中文操作界面,操作直觀,簡(jiǎn)易,界面良好
劃線工藝專家系統(tǒng)
高可靠性和穩(wěn)定性
技術(shù)參數(shù):
激光類型 | Type of Laser | 紅外 IR | 紫外 UV |
型號(hào) | Model | TH-4212 series | TH-6210 series |
激光波長(zhǎng) | Laser Wavelength | 1064nm | 355nm |
激光功率 | Laser Power | 可選 | 5W |
最 大加工晶圓尺寸 | Max Wafer Processing | 4 inch | 6 inch |
劃線速度 | Scribing Speed | 180mm/s | 30mm/s |
劃線線寬 | Scribing Linear Width | 40-55um | 20-30um |
劃線線深 | Scribing Linear Depth | 50-200um | 50-100um |
系統(tǒng)定位精度 | Locadion Precision | 5um | 5um |
重復(fù)定位精度 | Repetition Location Precision | 2um | 2um |
激光器使用壽命 | Laser Life | 10萬小時(shí) | 1.2萬小時(shí) |
應(yīng)用領(lǐng)域:
可應(yīng)用于:集成電路晶圓,GPP二極管晶圓,GPP可控晶圓
晶圓激光切割機(jī) /products_list1/pmcId=45.html
蘇州天弘激光股份有限公司成立于2001年1月9日.是一家專業(yè)開發(fā)光、機(jī)、電一體化設(shè)備的高新技術(shù)企業(yè)、省民營(yíng)科技企業(yè)。也是“十二五”國(guó)家“高功率及皮秒激光器產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用示范“單位。公司主要產(chǎn)品涵蓋六大系統(tǒng):1.中小功率激光加工系統(tǒng)2.激光焊接系統(tǒng)3.數(shù)控激光切割系統(tǒng)4.微加工系統(tǒng)5.自動(dòng)化系統(tǒng)6.激光3D再制造系統(tǒng)。是華東地區(qū)歷史最悠久、產(chǎn)品覆蓋最全的激光裝備制造商。公司聯(lián)合蘇州大學(xué)、清華大學(xué)、中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院等高校院所,進(jìn)行前瞻性基礎(chǔ)研究和產(chǎn)學(xué)研合作,創(chuàng)建“江蘇省工程技術(shù)研究中心”、“江蘇省企業(yè)研究生工作站”等科研設(shè)施;承擔(dān)了多項(xiàng)國(guó)家創(chuàng)新基金項(xiàng)目、‘863’項(xiàng)目、省科技支撐項(xiàng)目、省成果轉(zhuǎn)化項(xiàng)目、市科技計(jì)劃項(xiàng)目等科技項(xiàng)目,為公司的長(zhǎng)期發(fā)展積累了基礎(chǔ),創(chuàng)造了條件。我們制造的“高精度、高穩(wěn)定度、高性價(jià)比”的激光加工系統(tǒng),為客戶提供了一個(gè)優(yōu)良的選擇,也為中國(guó)的激光制造工藝升級(jí)做出了巨大的貢獻(xiàn)。“質(zhì)量是本、服務(wù)至上”天弘激光遵循ISO9001:2008質(zhì)量體系,精心打造、細(xì)心呵護(hù)每一套天弘產(chǎn)品,認(rèn)真對(duì)待每一位天弘客戶,共筑“誠信天弘”。