硅電容壓力傳感器是一種結(jié)構(gòu)型傳感器

壓力傳感器-硅電容壓力傳感器性能特征：

一、適合批量生產(chǎn)，稱重傳感器，成本低

硅電容壓力傳感器利用MEMS工藝制作，芯片尺寸為3mm×3mm，一個(gè)4寸硅片可制作幾百個(gè)元件。產(chǎn)品的工藝性好，性能一致，適合批量生產(chǎn)，低成本運(yùn)

行。其制備工藝與IC工藝兼容，工藝裝備無須象硅諧振傳感器的工藝裝備那樣昂貴和復(fù)雜，也無須象金屬膜片電容傳感器那樣單件制作，保證了硅電容傳感器具有

高的性能價(jià)格比。

二、穩(wěn)定性好

硅電容壓力傳感器是一種結(jié)構(gòu)型傳感器，壓力傳感器就檢測(cè)原理而言，其穩(wěn)定性優(yōu)于物性型傳感器，從結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)角度保證了該類傳感器的穩(wěn)定性；結(jié)構(gòu)工藝采用全硬

封固態(tài)工藝，傳感器，硅-玻璃-金屬導(dǎo)壓管采用靜電封接，減少了用膠封等引起的應(yīng)力、滯遲和變差；電容對(duì)溫度不靈敏，溫度附加誤差小，不需象硅壓阻器件那樣進(jìn)行復(fù)

雜的溫度補(bǔ)償。穩(wěn)定性好是硅電容傳感器深受用戶好感的主要原因之一。

三、指標(biāo)先進(jìn)

電容傳感器本身具有小功率、高阻抗、靜電引力小、可動(dòng)質(zhì)量小、發(fā)熱影響小的特點(diǎn)，并可進(jìn)行非接觸測(cè)量。硅電容傳感器綜合性能指標(biāo)如非線性、過載、靜壓、可

靠性等性能優(yōu)于硅壓阻傳感器、陶瓷電容傳感器、金屬膜片電容傳感器。它與硅諧振傳感器相當(dāng)，特別是用戶追求的非線性指標(biāo)，通常硅電容傳感器的非線性優(yōu)于

0.05％FS的成品率大于60％。

揚(yáng)州科動(dòng)電子有限責(zé)任公司是振動(dòng)、沖擊儀器和傳感器研發(fā)及生產(chǎn)的專業(yè)機(jī)構(gòu),座落于古城揚(yáng)州，她是由一批在動(dòng)測(cè)方面富有經(jīng)驗(yàn)的策劃人員、管理人員和技術(shù)人員所組成的股份制企業(yè)。他們多年來始終關(guān)注世界振動(dòng)、沖擊行業(yè)的動(dòng)向，廣泛吸收國內(nèi)外行業(yè)的優(yōu)點(diǎn)，采用最新的科技成果，使產(chǎn)品性能達(dá)到可靠、先進(jìn)、新穎。
    揚(yáng)州科動(dòng)的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于土木道橋、機(jī)械動(dòng)力、航空航天、國防軍工、車輛艦船、冶金石化、水工水利、教學(xué)實(shí)驗(yàn)等行業(yè)。揚(yáng)州科動(dòng)電子的工程技術(shù)人員在重大國防工程的測(cè)試中曾發(fā)揮過重要作用，在國內(nèi)較早參與解決加速度計(jì)工程應(yīng)用的技術(shù)難題和IC傳感器國產(chǎn)化工作，并在近十種行業(yè)雜志上發(fā)表過有關(guān)儀器、傳感器研究及工程測(cè)量方面的論文。揚(yáng)州科動(dòng)與國內(nèi)的院校、研究所及中國振動(dòng)工程學(xué)會(huì)、中國力學(xué)學(xué)會(huì)及各省學(xué)會(huì)均保持著廣泛的聯(lián)系，并有許多專家學(xué)者作為我們的顧問群體。
    揚(yáng)州科動(dòng)測(cè)試技術(shù)有限公司是經(jīng)銷和服務(wù)于揚(yáng)州科動(dòng)電子公司和揚(yáng)州科動(dòng)電子技術(shù)研究所生產(chǎn)的產(chǎn)品。
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