膜厚儀的影響因素有哪些

1、基體金屬厚度

每一種儀器都有一個(gè)基體金屬的臨界厚度。大于這個(gè)厚度，測(cè)量就不受基體金屬厚度的影響。

2、邊緣效應(yīng)

本儀器對(duì)試件表面形狀的陡變敏感。因此在靠近試件邊緣或內(nèi)轉(zhuǎn)角處進(jìn)行測(cè)量是不可靠的。

3、曲率

試件的曲率對(duì)測(cè)量有影響。這種影響總是隨著曲率半徑的減少明顯地增大。因此，在彎曲試件的表面上測(cè)量是不可靠的。

4、試件的變形

測(cè)量頭會(huì)使軟覆蓋層試件變形，因此在這些試件上測(cè)出可靠的數(shù)據(jù)。

膜厚儀光學(xué)監(jiān)1控是高精致鍍膜的的首1選監(jiān)1控方式，X光膜厚儀，這是因?yàn)樗軌蚋鼫?zhǔn)確地把持膜層厚度(如果利用切當(dāng))。精1確度的改進(jìn)源于很多因素，但最基礎(chǔ)的起因是對(duì)光學(xué)厚度的監(jiān)1控。對(duì)單波長光學(xué)監(jiān)1控體系，是采用間接測(cè)控，結(jié)合先進(jìn)光學(xué)監(jiān)1控軟件，有效提高光學(xué)反應(yīng)對(duì)膜厚度變革靈敏度的實(shí)際跟措施來減少終1極誤差，供應(yīng)了反饋或傳輸?shù)臎Q定模式跟大范圍的監(jiān)測(cè)波長。特別適合于各種膜厚的鍍膜監(jiān)1控包括非規(guī)整膜監(jiān)1控。

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