第二節(jié) 潔凈室正壓控制
第5.2.1條潔凈室必須維持一定的正壓。不同等級(jí)的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差,應(yīng)不小于4.9Pa,潔凈區(qū)與室外的靜壓差,廠房?jī)艋瘶?biāo)準(zhǔn),應(yīng)不小于9.8Pa。
第5.2.2條潔凈室維持不同的正壓值所需的正壓風(fēng)量,宜按下式計(jì)算:
Q=q1·Σ(q·L) (5.2.2)
式中:Q--維持潔凈室正壓值所需的正壓風(fēng)量(米3/時(shí));
a--根據(jù)圍擴(kuò)結(jié)構(gòu)氣密性確定的安全系數(shù),商丘廠房?jī)艋扇?.1~1.2;
q--當(dāng)潔凈室為某一正壓值時(shí),其圍護(hù)結(jié)構(gòu)單位長(zhǎng)度縫隙的滲漏風(fēng)量(米3/時(shí)·米);
L--圍擴(kuò)結(jié)構(gòu)的縫隙長(zhǎng)度(米)。
第5.2.5條非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室,廠房?jī)艋募液?,可根?jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班風(fēng)機(jī),并應(yīng)對(duì)新風(fēng)進(jìn)行處理。
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第七章 工業(yè)氣體管道
第一節(jié) 一般規(guī)定
第7.1.1條工業(yè)氣體管道的干管,應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)。氫氣和氧氣管道且明敷,如敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)時(shí),應(yīng)采取良好的通風(fēng)措施。引入潔凈的支管宜明敷。
第7.1.2條高純氣體管道設(shè)計(jì),應(yīng)符合下列要求:
一、根據(jù)計(jì)算確定管徑。
二、管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短。
三、不宜設(shè)預(yù)留口。
四、不應(yīng)出現(xiàn)'盲管'等不易吹除的部位。
五、干管不支管上應(yīng)設(shè)置吹除口。
六、在管系統(tǒng)上應(yīng)設(shè)置吹除口。
第7.1.3條穿過潔凈室墻壁或樓板的氣體管道,應(yīng)敷設(shè)在預(yù)埋套管內(nèi),套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采取可靠的密封措施。
第7.1.4條氫氣和氧氣管道的末端或高點(diǎn)宜設(shè)放散管。放散管應(yīng)高出屋脊1米,并應(yīng)設(shè)在防雷保護(hù)區(qū)內(nèi)。
第7.1.5條氣體凈化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對(duì)氣體統(tǒng)一計(jì)劃的要求進(jìn)行選擇。氣體終端凈化裝置應(yīng)設(shè)在靠近用氣點(diǎn)處。
第7.1.6條氣體過濾器應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)氣體含塵量的要求進(jìn)行選擇。高純氣體管道應(yīng)裝設(shè)氣體過濾器。
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