用途和特點(diǎn)

 質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter 縮寫(xiě)為 MFM)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量；
       質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為 MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和 控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體微電子工業(yè)、特種材料研制、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真 空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括:  電子工藝設(shè)備, 如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔 煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

      D07 系列質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟 動(dòng)、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等特點(diǎn)(可以在高壓或真空條件下工作),  其操作使用方便, 可任意位置安裝,  并便于與計(jì)算機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制

      多通道質(zhì)子混氣供氣系統(tǒng)（主要產(chǎn)品是1-4通道混氣供氣），可將多種氣體安一定比例均勻混合后通入到管式爐中。各種氣體的流量是通過(guò)精密的質(zhì)量流量計(jì)來(lái)控制，流量計(jì)和混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜內(nèi)。此系列設(shè)備可用于搭建CVD系統(tǒng)，也可為樣品退火提供所需的氣氛環(huán)境.

產(chǎn)品用途

      氣體配比器主要用于氣體流量測(cè)試,并按比例混合。混合后的氣體通過(guò)真空測(cè)試腔體從而傳感器根據(jù)不同比例的氣氛環(huán)境傳出不同的模擬量信號(hào)。控制方式采用集成化模塊控制 功能延伸性強(qiáng) 根據(jù)客戶(hù)要求隨意添加

     該氣體配比器可以外接3或多種氣體,采用質(zhì)子型流量計(jì),氣路管道采用316拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng).氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接且不易泄漏.

 

1.半導(dǎo)體制造行業(yè)中氣體流量控制

2.各種真空鍍膜設(shè)備

3.特種材料表面處理

4.氣體燃燒控制

5.混和配氣系統(tǒng)

6.泄漏探測(cè)系統(tǒng)

7.環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備

8.分析儀器的氣體流量計(jì)量與控制

9.化工、石化、冶金、光纖熔煉等需要?dú)怏w檢測(cè)和控制的場(chǎng)所

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    公司與國(guó)內(nèi)高校，科研院所有多層次的合作關(guān)系，建有開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室，相關(guān)領(lǐng)域的教授、高級(jí)工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開(kāi)發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念，依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力，科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝，精益求精的制造要求，全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作，科探儀器時(shí)刻懷著一顆真誠(chéng)的心期待與您的合作。